صينية سيليكون كربيد مخصصة: سيليكون كربيد مترسب كيميائياً (CVD) سيليكون كربيد مسطح محزز، موصلية حرارية عالية، معامل تمدد حراري منخفض

معلومات المنتج

      صينية كربيد السيليكون (SiC) هي حامل سيراميكي دقيق عالي الأداء مصمم لمعالجة رقائق أشباه الموصلات، والمعالجة الحرارية عالية الحرارة، وأنظمة CVD/PECVD، والأفران الفراغية، وغيرها من البيئات الصناعية المتطلبة.

تشمل وظائفها الرئيسية:

• دعم الرقائق ومكونات العملية
• تحديد مواقع الرقائق أثناء المعالجة
• نقل ومعالجة الرقائق
• دعم المكونات أثناء عمليات درجات الحرارة العالية
• العمل كمكون سيراميكي دقيق في معدات أشباه الموصلات

      تم تصميم صينية رقائق SiC المتاحة للجمهور لدينا لمعالجة رقائق أشباه الموصلات، وأنظمة CVD/PECVD، والأفران الفراغية، والتطبيقات الصناعية عالية الحرارة. اعتمادًا على التطبيق، يمكن استخدام CVD SiC عالي النقاء أو SSiC.   





عملية التصنيع
 

      تختلف عملية التصنيع الفعلية اعتمادًا على نظام مادة SiC ومتطلبات التطبيق. يتضمن مسار التصنيع النموذجي:
 

1. اختيار المواد الخام وتحضيرها
      يتم اختيار CVD SiC أو SSiC أو مادة SiC أخرى مناسبة وفقًا لمتطلبات النقاء والتطبيق.

↓

2. التشكيل / تحضير الأشكال الأولية

↓

3. التلبيد / الكثافة

↓

4. التشغيل الآلي الدقيق
      يتم استخدام تشغيل CNC والطحن لتحقيق الأبعاد المطلوبة، وفتحات التركيب، والشقوق، والميزات الهيكلية.

↓

5. الطحن / التلميع
      يمكن طحن الأسطح الوظيفية بدقة، أو صقلها، أو تلميعها وفقًا لمتطلبات التطبيق.

↓

6. التنظيف والفحص

↓

7. التعبئة والتغليف الواقي والشحن
      تحدد معلومات المنتج العامة لدينا التشكيل والتلبيد والتشغيل الآلي الدقيق CNC كجزء من مسار التصنيع، كما تسرد الطحن/التلميع الدقيق كطرق تشطيب متاحة.                                       



الميزات الرئيسية

1. استقرار ممتاز في درجات الحرارة العالية
      صواني SiC مناسبة لبيئات المعالجة ذات درجات الحرارة العالية ويمكنها الحفاظ على الاستقرار الهيكلي في ظل الظروف الحرارية الصعبة. تحدد بيانات منتجك المنشورة درجة حرارة تشغيل تبلغ ≤1600°C، على الرغم من أن قدرة درجة الحرارة الفعلية تعتمد على درجة SiC المحددة وبيئة العملية.

2. موصلية حرارية ممتازة
      يوفر SiC موصلية حرارية عالية، مما يساعد على تعزيز نقل الحرارة الفعال وتوزيع درجة الحرارة الأكثر تجانسًا.     
                                                                                                                       

3. مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية
      إنه مناسب تمامًا للتطبيقات التي تتضمن دورات تسخين وتبريد متكررة.
 

4. قوة ميكانيكية عالية
      توفر سيراميك SiC قوة ميكانيكية وصلابة عالية، مما يساعد على الحفاظ على الاستقرار الأبعادي أثناء التشغيل طويل الأمد في درجات الحرارة العالية.
 

5. مقاومة كيميائية ومقاومة للبلازما
      يوفر SiC استقرارًا كيميائيًا جيدًا ومقاومة في بيئات أشباه الموصلات المتطلبة التي تتضمن غازات أكالة وبلازما.
 

6. التشغيل الآلي الدقيق
      يمكن تشغيل الصينية وفقًا لرسومات العملاء، بما في ذلك الأبعاد والشقوق والثقوب والهياكل المعقدة، مع توفر الطحن أو التلميع وفقًا لمتطلبات التطبيق.

 7. قابلية تخصيص كاملة

• القطر

• السماكة

• الشقوق

• فتحات التركيب

• الهيكل

• إنهاء السطح

      تدعم صفحة منتجك العامة بشكل صريح التخصيص OEM/ODM بناءً على رسومات العملاء أو متطلبات التطبيق.


​
المواصفات الرئيسية

      يمكننا اختيار المواد بناءً على متطلبات العميل فيما يتعلق بدرجة الحرارة والجو والنقاء والتحكم في التلوث.


التطبيقات
1.تصنيع أشباه الموصلات:
      تستخدم لدعم الرقائق، والحمل، والنقل، والمعالجة شبه الموصلة في درجات الحرارة العالية.

2. معالجة CVD / PECVD:
      مناسبة لأنظمة معالجة CVD و PECVD.

3. الانتشار، الأكسدة، والتقسية:
      تستخدم في عمليات الانتشار، والأكسدة، والتقسية في درجات الحرارة العالية للرقائق.

4. معالجة RTP / الترسيب البخاري
      قابلة للتطبيق على أنظمة معالجة RTP والترسيب البخاري المختارة.

5. LED والإلكترونيات الضوئية
      تشمل التطبيقات معالجة رقائق الياقوت، وأنظمة حاملات ترسيب LED، ودعم الركائز في درجات الحرارة العالية.

6. الفرن الفراغي والحراري
      تستخدم كصواني تلبيد في درجات الحرارة العالية، وحاملات أفران فراغية، وأدوات معالجة حرارية.

7. علم المساحيق والمواد المتقدمة
      بالإضافة إلى تطبيقات أشباه الموصلات، يمكن أيضًا استخدام صواني SiC في علم المساحيق، وتلبيد السيراميك المتقدم، والمعالجة الحرارية لمواد البطاريات.

الأسئلة الشائعة
س1. ما هو استخدام صينية SiC؟
      تستخدم بشكل أساسي لدعم وحمل وتحديد مواقع ومعالجة الرقائق أو المكونات الأخرى في عمليات أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية مثل CVD و PECVD والانتشار والأكسدة والتقسية و RTP.

س2. هل يمكن تخصيص صينية SiC؟
      نعم. يمكن تخصيص الأبعاد والسماكة والشكل وهندسة الشق وفتحات التركيب والهياكل المعقدة بناءً على رسومات العملاء ومتطلبات التطبيق.

س3. ما هي خيارات المواد المتاحة؟
      تشمل مجموعة المنتجات المنشورة CVD SiC و SSiC و RBSiC. يجب اختيار المادة المناسبة وفقًا للنقاء ودرجة حرارة التشغيل وجو العملية ومتطلبات التلوث وأهداف التكلفة.

س4. ما هي المعلومات المطلوبة لعرض الأسعار؟
      المادة + الحجم + السماكة + الهيكل + تفاصيل الشق/الفتحة + إنهاء السطح + التفاوت + الكمية + التطبيق + درجة حرارة التشغيل
      بالنسبة للمنتجات غير القياسية، يوصى بشدة بـ رسم ثنائي الأبعاد أو ملف CAD ثلاثي الأبعاد.

س5. ما هي أقصى درجة حرارة تشغيل؟
      تحدد صفحة منتج صينية SiC العامة الحالية لديك درجة حرارة تشغيل تبلغ ≤1600°C. يجب تأكيد درجة الحرارة القابلة للاستخدام الفعلية وفقًا لدرجة المادة وبيئة العملية.

س6. هل يمكن تلميع السطح؟
      نعم. يمكن توفير الطحن أو التلميع الدقيق وفقًا لمتطلبات التطبيق.

س7. هل يمكنك تقديم OEM/ODM؟
      نعم. يتم دعم تخصيص OEM/ODM بناءً على رسومات العملاء ومتطلبات التطبيق.

س8. لماذا تختار SiC بدلاً من الكوارتز أو الجرافيت؟
      يوفر SiC مزايا في الاستقرار في درجات الحرارة العالية والقوة الميكانيكية والأداء الحراري والاستقرار الكيميائي. ومع ذلك، يجب دائمًا اختيار المادة بناءً على العملية الفعلية بدلاً من افتراض أن SiC يتفوق عالميًا على الكوارتز أو الجرافيت.

  


منتجات ذات صلة

                                               

قوارب SiC المخصصة وحاملات الرقائق العمودية والأفقية​​



                                              

أجزاء سيراميك الألومينا لمعدات أشباه الموصلات