|
| الاسم التجاري: | ZMSH |
| رقم الطراز: | آلة حفر شعاع أيون |
| الـ MOQ: | 3 |
| السعر: | by case |
| وقت التسليم: | 3-6 أشهر |
| شروط الدفع: | ر/ر |
آلة الحفر بشعاع الأيونات لمواد Si/SiO2/المعادن
الحفر بشعاع الأيونات، المعروف أيضًا باسم الطحن الأيوني، هو تقنية حفر جاف غير انتقائية ومتناحبة. تتضمن مبادئها الأساسية استخدام شعاع أيونات عريض ومتوازي عالي الطاقة يتم توليده بواسطة مصدر أيونات لقصف سطح قطعة العمل في بيئة مفرغة، وبالتالي إزالة المواد من خلال التذرية الفيزيائية. على عكس الحفر بالبلازما، لا يتعرض النموذج مباشرة للبلازما، وبالتالي تجنب التلف الكهربائي والتلوث الناتج عن البلازما وتمكين تحكم أفضل في العملية.
يتكون نظام الحفر بشعاع الأيونات عادةً من الأنظمة الفرعية الرئيسية التالية:
|
النظام الفرعي |
الوظيفة الأساسية |
النقاط الفنية الرئيسية والتأثير |
|
نظام التفريغ |
توفير بيئة تفريغ عالية |
يحدد نظافة العملية واستقرار الشعاع والدقة المطلقة. |
|
مصدر الأيونات |
توليد واستخراج شعاع الأيونات |
يحدد معدل الحفر والتوحيد وأنواع الغازات المتاحة وموثوقية المعدات (مصدر التردد اللاسلكي مقابل مصدر كوفمان). |
|
مرحلة العينة |
تأمين العينات والتلاعب بها |
وظيفة الدوران هي المفتاح لتحقيق الحفر متباين الخواص؛ تتحكم درجة الحرارة في نافذة العملية. |
|
نظام التحكم |
التحكم في العملية آلي بالكامل |
يضمن تكرار العملية ودقتها؛ يساهم الكشف عن نقطة النهاية في تعزيز قدرة العملية. |
|
المعادل |
تحييد شحنة شعاع الأيونات |
يمنع تلف الشحن على المواد العازلة؛ ضروري لحفر المواد العازلة. |
الحفر بشعاع الأيونات (IBE) هو تقنية تصنيع دقيقة/نانوية متقدمة تستخدم شعاع أيونات عالي الطاقة لإزالة المواد من السطح، مما يتيح نقل الأنماط بدقة.
يتضمن مبدأ الحفر بشعاع الأيونات شعاع أيونات عالي الطاقة (عادةً أيونات الأرجون) يتم توليده بواسطة مصدر أيونات، والذي يقصف سطح المادة عموديًا أو بزاوية مائلة. تتصادم الأيونات عالية الطاقة مع الذرات الموجودة على سطح المادة، مما يتسبب في طرد الذرات وإزالة المادة طبقة تلو الأخرى، وبالتالي تحقيق الحفر. يمكن إجراء طريقة الحفر هذه بدون تفاعلات كيميائية، وتنتمي إلى عملية حفر فيزيائية.
رسم تخطيطي لمعدات الحفر بشعاع الأيونات
قدرات المعالجة:
تدفق العملية:
رسم تخطيطي لعملية الحفر بشعاع الأيونات
1.تصنيع أشباه الموصلات:تستخدم لإنشاء دوائر وأنماط دقيقة في تصنيع الدوائر المتكاملة.
2.الأجهزة البصرية:تُطبق في المعالجة الدقيقة للمكونات البصرية، مثل المعالجة السطحية للشبكات والعدسات.
3.تكنولوجيا النانو:تصنيع الهياكل والأجهزة النانوية، مثل المسام النانوية والأسلاك النانوية.
4.علوم المواد:تستخدم لدراسة الخصائص الفيزيائية والكيميائية لأسطح المواد وإعداد مواد سطحية وظيفية.
1. المزايا:
دراسة حالة للحفر بشعاع الأيونات (IBE)
2. المواد التي يمكن حفرها:
3. دقة الحفر:
تعتمد دقة الحفر بشعاع الأيونات في المقام الأول على قدرة تركيز شعاع الأيونات، ودقة القناع، والتحكم في وقت الحفر. عادةً ما تحقق دقة تبلغ 10 نانومتر أو حتى أعلى، اعتمادًا على معلمات العملية المحددة وظروف المعدات.
1. س: ما هو الحفر بشعاع الأيونات؟
ج: الحفر بشعاع الأيونات (IBE) هو عملية حفر جافة تزيل المواد عن طريق التذرية المادية لسطح الهدف بشعاع عريض ومتوازي من الأيونات عالية الطاقة في فراغ عالٍ.
2. س: ما الفرق بين الحفر بشعاع الأيونات والحفر الأيوني التفاعلي؟
ج: الفرق الرئيسي هو أن IBE هي عملية فيزيائية بحتة حيث يتم فصل العينة عن مصدر الأيونات، بينما يجمع RIE بين كل من القصف الأيوني الفيزيائي والتفاعلات الكيميائية مع العينة مباشرة في البلازما.
العلامة: #
آلة الحفر بشعاع الأيونات, #مخصصة, #مواد Si/SiO2/المعادن
