6 ′′ 8 بوصة السيليكون و SiC وافر خط البوليسة مع الرؤوس الرباعية و إغلاق الحلقة

لمحة عامة عن المنتج

خط التشغيل الآلي لملمع الوافرات شبه الموصلة البالغة 6 ′′ 8 بوصة هو نظام إنتاج متكامل بعد التشغيل مصمم للوافلات السيليكونية وكربيد السيليكونية (SiC).

وهو يجمع بين التلميع الرباعي للرأس ، وإزالة الصفيحة التلقائية ، وإدارة الناقل السيراميكي ، والتنظيف الدقيق ، وإعادة تركيب الصفيحة بدقة عالية في منصة أوتوماتيكية مغلقة واحدة.

يتيح هذا النظام معالجة رقائق مستمرة ومسيطرة على التلوث عالية الإنتاجية ، مما يجعلها مثالية لمصانع أشباه الموصلات الكهربائية ، ومصنعي الركائز SiC ، وخطوط رقائق التعبئة والتغليف المتقدمة.

بنية النظام

يتكون الخط بأكمله من أربع وحدات عملية منسقة للغاية:

1وحدة إزالة الوعاءات التلقائية

بعد التلميع الرباعي ، يتم فصل الوافرات تلقائيًا عن الناقلات السيراميكية باستخدام خوارزميات الحركة المنخفضة الإجهاد والمسيطرة ، مما يمنع:

• شظايا الحافة

• الشقوق الصغيرة

• أضرار الإجهاد المتبقية

هذا أمر بالغ الأهمية خاصة بالنسبة للوفيرات السيكية الهشة والقيمة العالية.

2. نظام تخزين محمول السيراميكي و نظام العازل

يتم فرز حاملات السيراميك وتخزينها وإرسالها تلقائيًا.
نظام العازل يسمح:

• التشغيل المستمر لخط التلميع

• التوافق مع حاملات متعددة المواصفات

• التحكم في وقت التكتك المستقر

هذا يزيل انقطاع الإنتاج الناجم عن التعامل اليدوي أو نقص الناقل.

3نظام غسل ناقل السيراميك النظيف للغاية

قبل إعادة التثبيت ، يخضع كل حامل سيراميكي لتنظيف دقيق عميق لإزالة:

• خليط التلميع

• جزيئات تحت الميكرون

• مخلفات كيميائية

هذا يضمن سطحًا قابلًا للتكرار وخاليًا من التلوث لكل دورة جديدة لتثبيت الوافر.

4وحدة إعادة تركيب رقائق عالية الدقة

يتم تركيب الوافيرات على حاملات نظيفة مع:

• الضغط المسيطر عليه

• محاذاة تحت الميكرون

• التحكم في السطحية المرتفعة للغاية

هذا يوفر الظروف الأولية المثالية للخطوة التالية للبرقية الرباعية ، مما يحسن بشكل مباشر من توحيد البرقية وجودة الوافر النهائية.

المزايا الرئيسية للعملية

نظافة عالية جداً

نظافة منطقة التثبيت:

• جزيئات ≥ 0.5 μm: < 50 ea

• جزيئات ≥ 5 μm: < 1 ea

متوافقة تماما مع معايير تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة والسي سي.

مسطحة استثنائية للتثبيت

مسطحة التثبيت ≤ 2 μm
هذا يضمن:

• ضغط التلميع المتساوي

• معدلات استقرار إزالة المواد

• توحيد سمك ممتاز

حاسمة لأجهزة الطاقة عالية الأداء والوافير التعبئة المتقدمة.

إنتاج مرن عالي الإنتاج

يسمح النظام للمصنعين بتوازن الإنتاج والتكلفة وجودة السطح بناءً على استراتيجية الإنتاج الخاصة بهم.

المواصفات التقنية

• حجم الوافر: 6 ′′ 8 بوصة سليكون ووافر سي سي

• أبعاد المعدات: 13,643 × 5,030 × 2,300 مم (L × W × H)

• مصدر الطاقة: AC 380 V، 50 Hz

• إجمالي استهلاك الطاقة: حوالي 119 كيلوواط

• مسطحة التثبيت: ≤ 2 μm

• نظافة التثبيت:
  ≥0.5 ميكرومتر < 50 ساعة، ≥5 ميكرومتر < 1 ساعة

التطبيق

• رقائق نصف الموصلات الكهربائية Si و SiC (MOSFET، IGBT، ثنائيات)

• أساسات SiC والوافلات البيتاكسية

• عبوات التعبئة المتقدمة والوافير المتداخلة

• رقائق ملموسة ذات مستوى جهاز دقة

خدمة ما بعد البيع والدعم

• الدعم الفني عن بعد على مدار الساعة

• استجابة خلال ساعتين

• الوصول إلى الموقع: في غضون 24 ساعة (محلية) / 36 ساعة (غير محلية)

• الإصلاحات والخدمات المجانية

• صيانة مدى الحياة ودعم قطع الغيار

• قطع الغيار الحيوية دائما في المخزون

• زيارات صيانة وقائية منتظمة من قبل مهندسي الميدان

الأسئلة الشائعة

س1: هل هذا الخط مناسب لكل من رقائق السيليكون و SiC؟

أجل، النظام مُحسّن خصيصاً لكلّ من رقائق السيليكون وكربيد السيليكونومسارات إزالة يتم ضبطها للتعامل مع صلابة عالية و هشاشة من SiC بأمان.

س2: كيف يزيد هذا النظام من إنتاجية التلميع؟

من خلال الجمع بين ناقلات نظيفة للغاية، وتثبيت عالية السطحية، والتعامل الآلي بالكامل، النظام يقلل من:

• تلوث الجسيمات

• الصفحة المزدوجة

• عدم توحيد الضغط
  هذا يؤدي إلى إصلاح أكثر استقراراً ، وانخفاض معدلات الكسر ، وارتفاع إنتاج الوافر.

السؤال 3: هل يمكن للنظام أن يعمل بشكل مستمر مع الملمع الرباعي؟

أجل، تم تصميم عازل الحامل والخدمات اللوجستية الآلية لتمكين التشغيل المتواصل على مدار الساعة والعشرين

منتجات ذات صلة

نظام ترقية الوافرات معدات الرقية الدقيقة الوافر SiC Si متوافق سعة الوافرات 4 -12 بوصة