صندوق ناقل رقاقة أفقي 8 بوصة 12 بوصة ناقل آمن RoHS

حامل رقاقة أفقي – مناولة دقيقة لتصنيع أشباه الموصلات

 
الـحامل رقاقة أفقي يمثل ابتكارًا حاسمًا في تصنيع أشباه الموصلات، مصمم لـنقل وتخزين الرقاقات الرقيقة بأمان (150 مم إلى 450 مم) أثناء عمليات التصنيع. تم تصميمه لـالتوافق مع الغرف النظيفة واستقرار العملية، تستخدم هذه الحوامل مواد متقدمة وهندسة دقيقة لتقليل توليد الجسيمات مع زيادة إنتاجية الرقاقات في معدات الترسيب والحفر والفحص.
 
على عكس الحوامل الرأسية التقليدية، توفر التصميمات الأفقية:
 

• تصميم الحلقة الداخلية للغطاء العلوي والسفلي – يقلل من حركة الرقاقة الجانبية مع منع ملامسة الحواف، مما يضمن التعامل الخالي من الخدوش.

• الحلقة الداخلية السفلية المقواة مع مقابض الأصابع – يعزز مقاومة الصدمات ويوفر التوافق مع واجهات المعدات الآلية.

• نظام قفل من 4 نقاط وحلقة خارجية مقاومة للصدمات – يحمي الرقاقات أثناء النقل بمتانة هيكلية.

• كتابة سطحية مجوفة – يمنع تمزق أكياس تغليف HDPE أثناء الخدمات اللوجستية.

الميزات الرئيسية لـصندوق حامل الرقاقة الأفقي

1. نظام تثبيت الرقاقة الدقيق

تقنية الحلقة الداخلية المزدوجة:

• الحلقة العلوية: سبيكة ألومنيوم مشغولة بدقة مع طلاء سيراميك PVD

  • نظام تلامس رقاقة من 12 نقطة مع تفاوت 0.05 مم

  • مقياس إجهاد مدمج لمراقبة إجهاد الرقاقة في الوقت الفعلي (اختياري)

• الحلقة السفلية: مركب مقوى بألياف الكربون

  • أصابع تخميد ثلاثية المناطق مع صلابة قابلة للتعديل (5-15 نيوتن/مم)

  • تعويض حراري تلقائي للتشغيل من -40 درجة مئوية إلى 200 درجة مئوية

بيانات الأداء:

• تحول الرقاقة <0.1 مم عند تسارع 2.5 م/ث²

• تم تقليل منطقة الاستبعاد الطرفية إلى 0.5 مم (من 2 مم النموذجية)

• 0% كسر الرقاقة في اختبار مليون دورة

2. حماية متقدمة من الصدمات والاهتزازات

هيكل الحماية متعدد الطبقات:

1. الامتصاص الأساسي: مخمدات البوليمر اللزج المرن (تصنيف 15G)

2. الواقي الثانوي: نظام زنبركي من التيتانيوم في اللوحة الأساسية

3. الحماية الثلاثية: مناطق عازلة من البولي كربونات المقاومة للصدمات

أداء الاهتزاز:

• عزل اهتزاز أفضل 5 مرات من الجيل السابق (0.01 جرام انتقال عند 100 هرتز)

• يحافظ على <0.2 ميكرومتر TIR (إجمالي التشغيل الظاهر) أثناء نقل AMHS

3. جاهزية الصناعة 4.0

الميزات الذكية:

• أجهزة استشعار إنترنت الأشياء المدمجة (درجة الحرارة والرطوبة والاهتزاز)

• شحن لاسلكي للتشغيل المستمر للمستشعر

• تنبيهات الصيانة التنبؤية عبر تكامل مصنع MES

واجهات التشغيل الآلي:

• التوافق القياسي مع أداة نهاية الروبوتية E84/E87

• آلية تحرير سريعة بدون أدوات (<30 ثانية استبدال المزلاج)

• أدلة محاذاة تلقائية مع تكرار ±0.1 مم

4. تصميم مُحسّن للغرف النظيفة

التحكم في الجسيمات:

• تتميز جميع الأجزاء المتحركة بمصائد جسيمات بكفاءة التقاط تزيد عن 95%

• أسطح انزلاقية مطلية بالسيراميك (<0.01 جسيم/سم³ توليد)

• منافذ تطهير دورية للتنظيف بالنيتروجين

تحسينات السلامة:

• علامات محفورة بالليزر مجوفة 0.3 مم أسفل السطح

• جميع الحواف الحادة مشطوفة إلى >0.5 مم

• مواد مضادة للكهرباء الساكنة (10⁶-10⁹ أوم/مربع مقاومة السطح)

​

تطبيق صندوق حامل الرقاقة الأفقي

1. معالجة أشباه الموصلات الأمامية

• ترسيب الأغشية الرقيقة (CVD, PVD, ALD)

• الحفر/الإزالة بالبلازما

• زرع الأيونات

2. القياس والفحص

• نقل قناع التصوير الحجري EUV

• أدوات فحص الرقاقات

• تحليل حيود الأشعة السينية

3. التعبئة والتغليف المتقدمة

• تجميع 2.5D/3D IC

• التعبئة والتغليف على مستوى الرقاقة (WLP)

• عمليات TSV (من خلال السيليكون فيا)

4. البحث والتطوير

• مناولة الرقاقات في خطوط الإنتاج التجريبية

• تطوير مواد جديدة

• تأهيل العملية

المواصفات الفنية

سؤال وجواب

س1: لماذا تختار الحوامل الأفقية على الحوامل الرأسية؟
أ1: الاتجاه الأفقي يقلل من انحراف الرقاقة بنسبة 60% (لكل SEMI E158-1119)، وهو أمر بالغ الأهمية لـ <5nm معالجة العقدة.
 
س2: كيف تمنع التصاق الرقاقة؟
أ2: لدينا أسطح الجيب ذات النمط النانوي تقلل من مساحة التلامس بنسبة 85% مقارنة بالتصميمات القياسية.
 
س3: ما هو جدول الصيانة؟
أ3: 50000 دورة قبل استبدال الوسادة؛ تجديد كامل كل 200 ألف دورة.
 
س4: كيف تتعامل مع كسر الرقاقة؟
أ4: جيوب احتواء الرقاقة المجزأة تمنع التلوث المتبادل.
 
س5: هل يمكن استخدام الحوامل في الغرف المفرغة؟
أ5: نعم - خاص إصدارات مُحسّنة لإزالة الغازات متوفرة (<10⁻⁶ تور·لتر/ثانية).