تفاصيل المنتج
Place of Origin: CHINA
اسم العلامة التجارية: ZMSH
إصدار الشهادات: rohs
Model Number: Automatic double cavity fast annealing furnace
شروط الدفع والشحن
Minimum Order Quantity: 1
الأسعار: by case
Payment Terms: T/T
Temperature range:: |
1300℃ |
Heating rate:: |
Up to 100°C/ s |
Degree of automation:: |
Fully automatic control system |
Application:: |
SIC,GaN and other third generation semiconductor field |
Temperature range:: |
1300℃ |
Heating rate:: |
Up to 100°C/ s |
Degree of automation:: |
Fully automatic control system |
Application:: |
SIC,GaN and other third generation semiconductor field |
وصف المنتج
فرن التسخين السريع المزدوج الأوتوماتيكي هو معدات عالية الدقة لمعالجة الحرارة المصممة لمواد أشباه الموصلات،يستخدم هيكل غرفة مزدوجة لتحقيق عملية تسخين وتبريد سريعة وفعالة ومتساويةفي صناعة مواد أشباه الموصلات ، يستخدم الجهاز بشكل رئيسي لعمليات معالجة الحرارة للوافير ، وشرائح الموصلات المركبة (مثل GaN ، SiC) ومواد الألواح الرقيقة ،تحسين الخصائص الكهربائية والهيكلية للمواد من خلال التحكم الدقيق في درجة الحرارة والوقت، تحسين أداء الجهاز والإنتاجية.
مواصفات المعدات
1.نطاق الحرارة:درجة حرارة الغرفة إلى 1300 درجة مئوية (يمكن تخصيص درجة حرارة أعلى).
2.معدل التسخين:حتى 100 درجة مئوية/ ثانية.
3.عدد الغرف:تصميم غرفة مزدوجة، دعم المعالجة المتوازية، تحسين كفاءة الإنتاج.
4.تحكم الغلاف الجوي:دعم النيتروجين والأرجون والهيدروجين وغيرها من الغلاف الجوي لتلبية متطلبات العملية المختلفة.
5.توحيد:توحيد المجال الحراري ≤±1°C لضمان توحيد معالجة المواد.
6.درجة الأتمتة:نظام التحكم التلقائي، معايير العملية الداعمة المحددة مسبقاً والمراقبة عن بعد.
التطبيق الرئيسي للعملية
· أشباه الموصلات القائمة على السيليكون:يستخدم في التسخين الحراري السريع (RTA) لفحوصات السيليكون لتفعيل الأيونات المضادة وإصلاح عيوب الشبكة.
• نصف موصل مركب:وهي مناسبة لعلاج الحرارة لـ GaN و SiC وغيرها من مواد أشباه الموصلات واسعة النطاق لتحسين جودة الكريستال وخصائص الواجهة.
· مادة فيلم:تستخدم لتسخين فيلم معدني وفيلم أكسيد (مثل الوسيط عالية k) لتحسين موصلة واستقرار الفيلم.
· زرع الأيونات / التسخين بالاتصال
· التسخين عالية درجة الحرارة
· انتشار درجة حرارة عالية
· سبائك المعادن
· معالجة الأكسدة الحرارية
مجال التطبيق الرئيسي
- تصنيع الوافرات:لتنشيط المنشطات، وتسليط الأكسيدات وتسليط المعادن وغيرها من العمليات الرئيسية.
جهاز الطاقة:مناسبة لمعالجة الحرارة لـ SiC و GaN وغيرها من أجهزة أشباه الموصلات الكهربائية لتحسين أداء الجهاز وموثوقيته.
- التعبئة المتقدمة:للتسخين الحراري في عمليات TSV (من خلال السيليكون) و RDL (طبقة إعادة التوزيع).
- مواد كهربائية:مناسبة لعملية التسخين من مصابيح LED والليزر وغيرها من المواد الضوئية ، وتحسين الكفاءة الضوئية وتناسق طول الموجة.
خدماتنا
XKH توفر خدمات مخصصة لفرن التخمير السريع الكامل التلقائي المزدوج الغرفة، بما في ذلك تعديل مواصفات المعدات،تحسين معايير العملية والدعم الفني لضمان تلبية المعدات لاحتياجات العملاء المحددةبالإضافة إلى ذلك، توفر شركة إكس كيه إتش تدريبات التثبيت والصيانة الدورية وخدمات تحديث العمليات لمساعدة العملاء على زيادة أداء المعدات وكفاءة الإنتاج،المساهمة في تطوير عالية الجودة لمعالجة مواد أشباه الموصلات.
#أوتوماتيكي ثنائي التجويف نصف الموصل فرن التسخين السريع، #متوافق مع 6 بوصة 8 بوصة 12 بوصة رقاقة، #السرعة العالية الجهاز الكهربائي، #معالجة الحرارة المعدات، #SIC، #GaN
فيديو
فيديو
