|
| الاسم التجاري: | ZMSH |
| الـ MOQ: | 10 |
| وقت التسليم: | 2-4 أسابيع |
| شروط الدفع: | تي/تي |
الكربيد السيليكوني CVD (SiC) الكترود هو مكون غرفة أشباه الموصلات عالية الأداء المصممة لحفر البلازما ، PECVD ، ICP ، وأنظمة معالجة رقائق متقدمة.المصنوعة من كربيد السيليكون ذات النقاء العالي (CVD)، يقدم الأقطاب الكهربائية مقاومة استثنائية لتآكل البلازما والاستقرار الحراري والاتساق الكهربائي على المدى الطويل في بيئات أشباه الموصلات العدوانية.
مقارنة بأجهزة الكترود السيليكون التقليدية، توفر أجهزة الكترود CVD SiC حياة تشغيلية محسنة بشكل كبير، وتوليد جزيئات أقل،ومقاومة متفوقة للكيمياء البلازما على أساس الفلور والكلورهذه المزايا تجعلها حل مثالي لمصانع أشباه الموصلات المتقدمة التي تتطلب معالجة مستقرة ومسيطرة على التلوث وعالية الإنتاجية.
مصممة لتطبيقات البلازما القاسية ، تحتفظ أقطاب SiC بالخصائص الكهربائية والحرارية المستقرة خلال دورات المعالجة الطويلة ، مما يساعد على تحسين تكرار العملية ، وقت تشغيل الغرفة,و انتاج الوافر
في غرف بلازما أشباه الموصلات ، الأقطاب الكهربائية ضرورية ل:
تحت تعرض البلازما عالية الطاقة، الكهرباء السيليكونية التقليدية تعاني تدريجيا من:
تتغلب أقطاب CVD SiC على هذه القيود من خلال بنيتها الكريستالية الكثيفة، والنقاء العالي، ومقاومة التآكل المتميزة.
يظهر CVD SiC مقاومة ممتازة لمواد الكيميائية في البلازما القائمة على الفلور والكلور بما في ذلك:
هذا يقلل بشكل كبير من تآكل الأقطاب الكهربائية ويمدد عمر التشغيل تحت التعرض المستمر للبلازما.
بالمقارنة مع أقطاب السيليكون التقليدية ، يمكن لأقطاب SiC أن تحقق عادة:
يقلل الهيكل الكثيف لـ CVD SiC من التقليط الدقيق وتدهور السطح ، مما يقلل من خطر التلوث ويساعد على تحسين أداء إنتاج أشباه الموصلات.
القدرة الممتازة على تبديد الحرارة تساعد:
تحتفظ أقطاب SiC بالمقاومة المستقرة وخصائص RF على مدار دورات الإنتاج الطويلة ، مما يساعد على ضمان سلوك البلازما المتسق ومعالجة رقاقة قابلة للتكرار.
يتم تصنيع الأقطاب الكهربائية بدقة مقاسية عالية وأنماط توزيع الغاز قابلة للتخصيص لدعم متطلبات تكامل أشباه الموصلات المتقدمة.
| المعلم | المواصفات |
|---|---|
| المواد | كربيد السيليكون (SiC) |
| النقاء | ≥ 99.9% |
| الكثافة | ≥ 3.1 g/cm3 |
| الحد الأقصى للقطر | ما يصل إلى 330 مم |
| سمك | قابلة للتخصيص |
| التوصيل الحراري | 120~200 واط/ميكروكيل |
| خشونة سطح | Ra ≤ 1.6 ميكرومتر |
| دقة التصنيع | < 10 ميكرومتر |
| صلابة | ~ 9.2 موهز |
| درجة حرارة العمل | > 1000 درجة مئوية (تعتمد على العملية) |
| التشطيب السطحي | مروحة / مطلية اختياري |
| قطر فتحة الغاز | قابلة للتخصيص |
| خيارات المقاومة | مقاومة منخفضة / متوسطة / عالية متاحة |
تطبيقات أشباه الموصلاتتستخدم على نطاق واسع في غرف حفر البلازما ICP و RIE التي تتطلب مقاومة بلازما عالية وأداء RF مستقر.
مناسبة لأنظمة ترسب تعمل في ظل درجات حرارة عالية وظروف غازات تآكل.
متانة ممتازة لتطبيقات معالجة البلازما طويلة الدورة.
تستخدم في تنشيط السطح والتنظيف والتعديل وخطوات معالجة أشباه الموصلات المتقدمة.
متوافق مع خطوط إنتاج أشباه الموصلات ذات الإنتاجية العالية وعقد العملية المتقدمة.
| السمة | الكهرباء CVD SiC | كهرباء السيليكون التقليدية |
|---|---|---|
| مقاومة البلازما | ممتاز | معتدلة |
| حياة الخدمة | طويلة جداً | أقصر |
| توليد الجسيمات | منخفض جداً | أعلى |
| الاستقرار الحراري | ممتاز | معتدلة |
| مقاومة التآكل | ممتازة | محدودة |
| استقرار العملية | عالية | معتدلة |
| تواتر الصيانة | منخفضة | أعلى |
أقطاب SiC ذات الدرجة نصف الموصلة المخصصة متوفرة مع:
يتم دعم OEM والتصنيع القائم على الرسم.
✔ مدّدة عمر مكونات الغرفة
✔ تقليل تواتر استبدال المواد الاستهلاكية
✔ مخاطر أقل لتلوث الجسيمات
✔ تحسين استقرار انتاج الوافر
✔ تقليل وقت توقف الصيانة
✔ استمرارية أفضل في عملية البلازما
✔ مناسبة لبيئات البلازما الفلورية العدوانية
أجل، أقطاب (سي سي سي) هي مكونات نصف موصلة، لكن عمرها أطول بكثير من أقطاب السيليكون التقليدية.
يوفر CVD SiC مقاومة عالية لتآكل البلازما، واستقرار كيميائي ممتاز، وتوليد جسيمات منخفضة في ظل ظروف معالجة أشباه الموصلات العدوانية.
نعم، يمكن تخصيص القطر والسمك والمقاومة وتخطيط ثقب الغاز
وهي تستخدم على نطاق واسع في:
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
Türkçe
polski