|
| الاسم التجاري: | ZMSH |
| الـ MOQ: | 10 |
| وقت التسليم: | 2-4 أسابيع |
| شروط الدفع: | تي/تي |
رقاقة SiC الدمية (رقاقة حاملة من كربيد السيليكون / رقاقة مراقبة العملية) عبارة عن رقاقة معالجة عالية المتانة تم تصميمها لتأهيل معدات أشباه الموصلات، وتتبيل الغرفة، والتثبيت الحراري، والتحقق من العملية، وحماية رقاقة الإنتاج.
على عكس الرقاقات المخصصة للأجهزة المستخدمة في تصنيع الرقائق، تعمل الرقاقات الوهمية SiC كرقائق مساعدة ضمن أدوات معالجة أشباه الموصلات للحفاظ على توازن الغرفة، وتحسين التوزيع الحراري، وتحسين إمكانية تكرار العملية أثناء عمليات التصنيع المتقدمة.
بفضل التوصيل الحراري الاستثنائي، والقوة الميكانيكية، والثبات الكيميائي لكربيد السيليكون، فإن الرقائق الوهمية من SiC مناسبة بشكل خاص لبيئات أشباه الموصلات القاسية التي تتضمن درجات حرارة عالية، والتعرض للبلازما، والكيمياء المسببة للتآكل، ودورات العمليات المتكررة.
قبل دخول رقائق الإنتاج إلى غرفة العملية، يتم استخدام رقائق SiC الوهمية لتثبيت درجة حرارة الغرفة، وتوزيع تدفق الغاز، وكثافة البلازما، وظروف الضغط. وهذا يساعد على تقليل انحراف العملية وتحسين اتساق الرقاقة إلى الرقاقة.
تُستخدم رقائق SiC الوهمية على نطاق واسع أثناء تركيب الأدوات والصيانة الوقائية وإعداد الوصفة، وتسمح للمهندسين بالتحقق من استقرار العملية دون المخاطرة برقائق الإنتاج باهظة الثمن.
في أنظمة المعالجة المجمعة، يمكن للرقائق الوهمية أن تشغل فتحات الرقاقات غير المستخدمة للحفاظ على التحميل الحراري الموحد وتناسق البلازما، مما يقلل من تأثيرات الحواف ويحمي رقائق الأجهزة القيمة من عدم الاستقرار أو التلوث.
مثالية لتجارب النقش، وضبط الترسيب، واختبار الزرع، وتطبيقات مطابقة الحجرة حيث يلزم تكرار عملية التدوير.
يوفر كربيد السيليكون موصلية حرارية أعلى بكثير من السيليكون التقليدي، مما يتيح نقل الحرارة بشكل أسرع وتحسين توحيد درجة الحرارة أثناء المعالجة الحرارية.
هذا يقلل:
يحافظ SiC على ثبات ممتاز للأبعاد تحت درجات الحرارة المرتفعة، مما يجعله مناسبًا للغاية لما يلي:
يُظهر SiC مقاومة ممتازة للأحماض والقلويات وكيمياء أشباه الموصلات العدوانية. غالبًا ما يمكن إزالة الأفلام المودعة بشكل انتقائي مع الحفاظ على ركيزة الرقاقة، مما يسمح بدورات إعادة استخدام متعددة.
بالمقارنة مع رقائق السيليكون التقليدية، يوفر SiC:
| ملكية | رقاقة وهمية من SiC | رقاقة السيليكون |
|---|---|---|
| كثافة | 3.21 جم/سم3 | 2.33 جم/سم3 |
| فجوة الفرقة | 3.26 فولت | 1.12 فولت |
| الموصلية الحرارية | عالي | معتدل |
| صلابة موس | 9.2 | 7.0 |
| قوة العاطفة | 590 ميجا باسكال | 150-200 ميجا باسكال |
| معامل يونغ | 450 جيجا | 200 جيجا |
| الاستقرار الحراري | ممتاز | معتدل |
| المقاومة الكيميائية | ممتاز | محدود |
✔ تحسين استقرار الغرفة
✔ تقليل تقلبات العملية
✔توحيد حراري معزز
✔ حماية رقائق الإنتاج ذات القيمة العالية
✔ انخفاض تكلفة المواد الاستهلاكية من خلال إعادة الاستخدام
✔ مناسبة لبيئات أشباه الموصلات العدوانية
✔ عمر خدمة طويل تحت التدوير الحراري المتكرر
نعم. نظرًا لمقاومتها الكيميائية الممتازة ومتانتها الميكانيكية، يمكن عادةً إعادة استخدام رقائق SiC الوهمية عدة مرات بعد التنظيف والفحص المناسبين.
وهي تستخدم عادة في:
يوفر SiC موصلية حرارية فائقة، وصلابة أعلى، وتشوهًا حراريًا أقل، ومقاومة أفضل لبيئات المعالجة القاسية مقارنة برقائق السيليكون القياسية.
نعم. يتوفر القطر المخصص، والسمك، والاتجاه المسطح/الشق، وتصميم الحافة، والمعالجة السطحية وفقًا لمتطلبات المعدات.
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
Türkçe
polski