|
| الاسم التجاري: | ZMSH |
| الـ MOQ: | 50 |
| وقت التسليم: | 2-4 أسابيع |
| شروط الدفع: | تي/تي |
1مقدمة شاملة للمنتج
يُمثل الركيزة ذات 12 بوصة (300 مم) من كربيد السيليكون (SiC) الحدود الحالية في تكنولوجيا أشباه الموصلات ذات الفجوة العريضة (WBG).مع تحول الصناعة العالمية نحو كفاءة أعلى وكثافة طاقة أعلى، هذه المنصة البلورية ذات القطر الكبير توفر الأساس الأساسي لجيل القادم من أجهزة الكترونيات الكهربائية وأنظمة الراديو الراديوي.
المزايا الاستراتيجية الرئيسية:
إنتاجية ضخمة:بالمقارنة مع رقائق 150 ملم (6 بوصة) و 200 ملم (8 بوصة) التقليدية ، يوفر تنسيق 300 ملم أكثر من 2.2x و 1.5x مساحة السطح القابلة للاستخدام ، على التوالي.
تحسين التكاليف:يقلل بشكل كبير من "التكلفة لكل مشط" من خلال زيادة عدد الرقائق المنتجة في دورة تصنيع واحدة.
التوافق المتقدم:متوافق تماماً مع خطوط التصنيع الحديثة والأتوماتيكية الكاملة للشرائح نصف الموصلة (Fabs) ، مما يحسن الكفاءة التشغيلية العامة.
عروض فئة المنتج:
4H SiC من النوع N الصف الإنتاج:مصممة لتصنيع أجهزة طاقة عالية الإنتاجية
4H SiC من النوع N الصف المزيف:حل فعال من حيث التكلفة للاختبار الميكانيكي، ومعايرة المعدات، والتحقق من صحة العملية الحرارية.
4H SiC شبه عازل (SI) تصنيف الإنتاج:مصممة خصيصاً لتطبيقات الترددات الرادية والرادار والمايكروويف التي تتطلب مقاومة شديدة.
كربيد السيليكون 4H-N (النوع الموصل)
النمط متعدد الأبعاد 4H-N هو بنية بلورية هكساجونية مزودة بالنيتروجين معروفة بخصائصها الفيزيائية القوية. مع فجوة واسعة حوالي 3.26 eV ، توفر:
حقل كهربائي عالي الانهيار:يسمح بتصميم أجهزة عالية الجهد أكثر رفاهية وكفاءة.
التوصيل الحراري العالي:تمكن وحدات الطاقة العالية من العمل مع أنظمة تبريد مبسطة.
الاستقرار الحراري المتطرف:يحافظ على المعلمات الكهربائية المستقرة حتى في البيئات القاسية التي تتجاوز 200 درجة مئوية.
المقاومة المنخفضة:تم تحسينها لهياكل الطاقة الرأسية مثل SiC MOSFETs و SBDs.
كربيد السيليكون 4H-SI (نوع شبه عازل)
تميز أسطواناتنا SI بمقاومة عالية بشكل استثنائي وأقل عيوب بلورية. هذه الأساسات هي المنصة المفضلة لأجهزة GaN-on-SiC RF ، حيث توفر:
عزل كهربائي ممتازيزيل التوصيل الطفيلي للجزيئات
سلامة الإشارة:مثالية لتطبيقات الميكروويف عالية التردد حيث انخفاض خسارة الإشارة أمر بالغ الأهمية.
عملية تصنيعنا متكاملة عموديًا لضمان مراقبة جودة كاملة من المواد الخام إلى الوافر المنتهي.
نمو الترقية (طريقة PVT):يتم زراعة بلورات 12 بوصة باستخدام طريقة نقل البخار الفيزيائي (PVT).يتم ترقيم مسحوق SiC عالي النقاء عند درجات حرارة تتجاوز 2000 درجة مئوية تحت فراغ ومياه حرارية محددة بدقة، إعادة التبلور على بلور بذرة عالية الجودة.
قطع الدقة وتحديد الحافة:بعد النمو، يتم تقطيع البلورات إلى رقائق باستخدام المنشار الماسية المتقدمة متعددة الأسلاك.معالجة الحافة تنطوي على تشفير الدقة لمنع الشظايا وتحسين الصلابة الميكانيكية أثناء التعامل.
هندسة السطح (CMP):اعتماداً على التطبيق، نستخدم التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP) على الوجهة الـ Si. هذه العملية تصل إلى سطح "Epi-Ready"إزالة كل الأضرار تحت السطح لتسهيل النمو البصري عالي الجودة.
| البند | إنتاج النوع N | دمية من النوع N | إنتاج النوع SI |
|---|---|---|---|
| النوع المتعدد | 4 ساعة | 4 ساعة | 4 ساعة |
| نوع المنشطات | النيتروجين (النوع N) | النيتروجين (النوع N) | عازلة نصف |
| قطرها | 300 ± 0.5 ملم | 300 ± 0.5 ملم | 300 ± 0.5 ملم |
| سمك (أخضر/Trans) | 600/700 ± 100 ميكرومتر | 600/700 ± 100 ميكرومتر | 600/700 ± 100 ميكرومتر |
| التوجه السطحي | 4.0° نحو <11-20> | 4.0° نحو <11-20> | 4.0° نحو <11-20> |
| دقة التوجه | ± 0.5 درجة | ± 0.5 درجة | ± 0.5 درجة |
| الشقة الرئيسية | المقطوعة / كاملة | المقطوعة / كاملة | المقطوعة / كاملة |
| عمق الشفرة | 1.0 ️ 1.5 ملم | 1.0 ️ 1.5 ملم | 1.0 ️ 1.5 ملم |
| السطحية (TTV) | ≤ 10 ميكرومتر | لا | ≤ 10 ميكرومتر |
| كثافة الأنابيب الدقيقة (MPD) | ≤ 5 ea/cm2 | لا | ≤ 5 ea/cm2 |
| التشطيب السطحي | جاهزة للأسفل (CMP) | طحن دقيق | جاهزة للأسفل (CMP) |
| معالجة الحافة | الشامفر المستديرة | لا تشامفر | الشامفر المستديرة |
| فحص الشقوق | لا يوجد (باستثناء 3 ملم) | لا يوجد (باستثناء 3 ملم) | لا يوجد (باستثناء 3 ملم) |
نحن نستخدم بروتوكول تفتيش متعدد الخطوات لضمان أداء ثابت في خط الإنتاج الخاص بك:
علم القياس البصري:قياس الهندسة السطحية الآلية لـ TTV، القوس، والعوج.
التقييم الكريستالي:تفتيش الضوء المستقطب لاستيعاب النمط المتعدد وتحليل الإجهاد.
فحص العيوب السطحية:ضوء عالي الكثافة و إشعاع ليزر للكشف عن الخدوش و الحفر و الشرائح
الخصائص الكهربائية:خريطة مقاومة بدون اتصال عبر المناطق الوسطى 8 بوصة و 12 بوصة كاملة.
المركبات الكهربائية:أمر بالغ الأهمية لمحولات الجرّة، ومجموعات الشحن السريع 800 فولت، ومشغلات الشحن الداخلية (OBC).
الطاقة المتجددة:محولات الطاقة الكهروضوئية عالية الكفاءة، محولات طاقة الرياح، وأنظمة تخزين الطاقة (ESS).
شبكة ذكية:ناقلات التيار المباشر عالية الجهد (HVDC) ومحركات المحرك الصناعي.
الاتصالات:محطات ماكرو 5G/6G، مكبرات الطاقة الراديوية، و وصلات الأقمار الصناعية
الفضاء والدفاع:مصادر طاقة عالية الموثوقية للبيئات الجوية الفضائية القاسية.
السؤال 1: كيف يزيد الركيزة ذات 12 بوصة من السيكسيد الكربوني من عائد أرباحي؟
ج: من خلال توفير مساحة سطح أكبر بكثير، يمكنك تصنيع رقائق أكثر بكثير لكل رقاقة. وهذا يقلل من التكاليف الثابتة للمعالجة والعمل لكل رقاقة،جعل منتجات أشباه الموصلات النهائية أكثر قدرة على المنافسة في السوق.
س2: ما هي فائدة التوجيه خارج المحور بمقدار 4 درجات؟
ج: يتم تحسين التوجه 4 درجة نحو الطائرة <11-20> لنمو البصرية عالي الجودة ، مما يساعد على منع تكوين أنواع متعددة غير مرغوب فيها والحد من خلل الطائرة الأساسية (BPD).
س3: هل يمكنك توفير علامة ليزر مخصصة للتتبع؟
ج: نعم. نحن نقدم وضع علامات ليزرية مخصصة على الجانب C (وجه الكربون) وفقًا لمعايير SEMI أو متطلبات العملاء المحددة لضمان تتبع المجموعة الكاملة.
السؤال 4: هل الصف المزيف مناسب للتسخين في درجة حرارة عالية؟
الجواب: نعم، يشارك الدرجة المزيفة من النوع N نفس الخصائص الحرارية للدرجة الإنتاجية، مما يجعلها مثالية لاختبار الدورات الحرارية، ومعايرة الفرن، وأنظمة التعامل.
