​​أوعية زجاجية جرسية كوارتز مخصصة مع خيارات طلاء لمولدات البلازما لأشباه الموصلات​​

وفيما يلي لمحة عامة عن المعلمات الأساسية لجرارات الجرس الكوارتز في مولدات البلازما شبه الموصلة ، مع تسليط الضوء على المواصفات الرئيسية:

يمكن فهم دور جرة الجرس الكوارتز في مولد بلازما أشباه الموصلات على أنه "خلق وحماية المساحة المثالية لردود الفعل البلازما".

• إنشاء بيئة مختومة: الجرة الكوارتز الجرس، جنبا إلى جنب مع مكونات مثل لوحة الأساس المعدنية من خلال الأختام (على سبيل المثال، حلقات O) ، تشكل غرفة تفاعل مختومة. قبل بدء العملية،نظام الفراغ يفرغ داخل جرة الجرس إلى فراغ كبير (e. g ، على نطاق 10-6 إلى 10-9 تور) ، وإزالة الشوائب مثل الرطوبة والأكسجين من الهواء تمامًا ، مما يوفر "مرحلة" نقية لتفاعل البلازما.

• الحقن والإثارة: يتم التحكم بدقة في غازات العملية عالية النقاء (على سبيل المثال ، CF4 للحفر ، SiH4 للتراكم ، أو الغاز المساعد Ar) ويتم حقنها في جرة الجرس. بعد ذلك ،مصادر الطاقة مثل الميكروويف أو ترددات الراديو تحفز هذه الغازات، وتقوم بتأينها لتشكيل البلازما، والتي تحتوي على أيونات نشطة للغاية، والإلكترونات، والجذور.

• الحفاظ على التفاعل: أثناء التفاعل ، فإن الاستقرار الكيميائي العالي وانخفاض الغازات من جرة الجرس الكوارتزية أمر حاسم.انها مقاومة فعالة للتآكل وتآكل جدران الغرفة من قبل البلازما، مما يمنع جرة الجرس نفسها من أن تصبح مصدر للتلوث ، وبالتالي ضمان اتساق العملية ونقاء منتج الوافر.

مجالات التطبيق الأساسية لأوعية الجرس الكوارتز

بناءً على الخصائص المذكورة أعلاه ، يتم استخدام أوعية الجرس الكوارتزية بشكل أساسي في عمليات تصنيع أشباه الموصلات الرئيسية التالية:

• ترسب البخار الكيميائي المحسن في البلازما (PECVD):في عمليات PECVD ، يوفر جرة الجرس الكوارتزية بيئة تفاعلية مستقرة لإيداع الأفلام مثل نتريد السيليكون وثاني أكسيد السيليكون.نقائها العالي ومقاومتها لدرجات الحرارة تضمن جودة الأفلام المستودعة.

• - نعمالحفر الجاف:في عمليات الحفر، يمكن أن تتحمل جرة الجرس الكوارتزية البلازما القائمة على الفلور والكلور،حماية المكونات الأخرى لغرفة التفاعل والحفاظ على توحيد وتكرار عملية الحفر.
• - نعمتحلل البخار الكيميائي للبلازما الميكروويفية:في العمليات المتقدمة مثل MPCVD لإنتاج الأفلام الماسية ذات الحجم الكبير والجودة العالية (المستخدمة في إزالة الحرارة في أشباه الموصلات ، إلخ) ،وعاء الجرس الكوارتز هو المكون الرئيسي بسبب قدرته على خلق بيئة بلازما نقية.

حول ZMSH

تتخصص ZMSH في توفير حلول المواد عالية الأداء للقطاعات شبه الموصلة والإلكترونيات الضوئية والتصنيع الراقي.مع القدرات الناضجة في تخصيص المكونات الرئيسية لمعدات عملية البلازما مثل جرارات الجرس الكوارتز ZMSH تستخدم مواد الكوارتز عالية النقاء مصممة خصيصا لمتطلبات العملاء للتختم، مقاومة الحرارة، ومقاومة تآكل البلازما. الشركة تحكم بدقة الأبعاد، واجهة اللحاء والانتقال البصري لضمان أداء مستقر في الحفر،وعمليات أخرى.

بالإضافة إلى ذلك، توفر ZMSH مجموعة من المنتجات المخصصة بما في ذلك النوافذ والقوالب البصرية الزعفرة، وقوالب أجهزة الطاقة الكربيد السيليكون (SiC) ، وابلات السيليكون، المكونات المخصصة الكوارتز،ووافلات SOIوتشمل هذه العروض خدمات سلسلة كاملة من إعداد المواد إلى المعالجة الدقيقة (على سبيل المثال، القطع والطحن واللمع) ، وتلبية المتطلبات الصارمة للصلابة العالية، والقدرة الحرارية،والعزل في الصناعات مثل الإلكترونيات الاستهلاكيةوالطيران والفضاء والأجهزة الطبية.

من خلال دمج البحث والتطوير في المواد مع نظام تصنيع مرن، ZMSH تمكن النماذج الأولية السريعة وتسليم دفعات من المنتجات غير القياسية،دعم الابتكار التكنولوجي وتحديثات المنتجات للعملاء.