| الاسم التجاري: | ZMSH |
| رقم الطراز: | 4 بوصات رقاقة الكوارتز |
| الـ MOQ: | 10 |
| السعر: | by case |
| وقت التسليم: | 5-8 اسابيع |
| شروط الدفع: | T/T |
رقاقة الكوارتز 4 بوصة (100 مم) عبارة عن ركيزة سيليكا منصهرة عالية النقاء ذات تنسيق كبير مصممة لتطبيقات عالية الدقة والاستقرار في أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية والبصريات المتقدمة. بالمقارنة مع الرقائق مقاس 3 بوصات، توفر مواصفات 4 بوصات مساحة قابلة للاستخدام أكبر بكثير، مما يحسن كفاءة الإنتاج - خاصة لتصنيع دفعات أقنعة الصور المتكاملة، والبصريات الليزرية عالية الطاقة، وأجهزة استشعار MEMS.
ZMSHمتخصصة في البحث والتطوير وإنتاج رقائق الكوارتز مقاس 4 بوصات وأكبر، وتقدم:
- تخصيص بالحجم الكامل: يدعم رقائق 4 بوصات و 6 بوصات و 8 بوصات، مع أحجام غير قياسية (مثل المربعة، على شكل قطاع) متوفرة.
- معالجة عالية الدقة: تتضمن التلميع فائق الجودة على الوجهين (Ra≤0.5nm)، والتقطيع بالليزر (تحمل ±0.01 مم)، وثقب الثقوب الدقيقة/الثقوب ذات الأشكال الخاصة.
- المعالجات الوظيفية: طلاءات مضادة للانعكاس (AR)، مضادة للانعكاس بالأشعة تحت الحمراء، طلاءات شبيهة بالألماس بالكربون (DLC)، والمزيد.
- حلول بدرجة صناعية: نظافة على مستوى أشباه الموصلات (الفئة 10)، وكثافة عيوب منخفضة (≤0.1/سم²)، مثالية لتصوير EUV والحوسبة الكمومية.
| المصطلح الفني | المواصفات |
| القطر | 4 بوصات (100 مم) |
| نطاق السماكة | 0.5 مم ~ 1.5 مم |
| خشونة السطح (مصقول) | ≤0.5nm |
| نفاذية @193nm | >93% |
| CTE (20-300 درجة مئوية) | 0.55 × 10⁻⁶/درجة مئوية |
| التوازي | ≤3 ميكرومتر |
| توافق الفراغ | 10⁻¹⁰ تور |
1. دقة كبيرة الحجم: TTV≤10 ميكرومتر بقطر 100 مم يضمن توحيد العملية.
2. CTE منخفض للغاية: 0.55 × 10⁻⁶/درجة مئوية، مناسب للعمليات ذات درجة الحرارة العالية (مثل التلدين وزرع الأيونات).
3. شفافية واسعة النطاق: >93% نفاذية @193nm (DUV)، >90% @3-5 ميكرومتر (IR).
4. جودة سطح فائقة: مصقول على الوجهين مع Ra≤0.5nm لتصوير النانو.
5. متانة معززة: يعزز التقوية الكيميائية الاختيارية قوة الانحناء إلى 600 ميجا باسكال؛ مقاوم للبلازما.
| المجال | التطبيقات |
| أشباه الموصلات | بصريات تصوير EUV، ركائز قناع الصور، متباينة 3D NAND |
| الليزر عالي الطاقة | مرايا الليزر، شبكات ضغط النبض، أغطية نهاية الليزر الليفي |
| تكنولوجيا الكم | حاملات رقائق Qubit، منافذ عرض مصيدة الذرة الباردة، ركائز كاشف الفوتون الواحد |
| الفضاء | عدسات الأقمار الصناعية، نوافذ مستشعر مقاومة للإشعاع، كاشفات الجسيمات |
| الطب الحيوي | رقائق تسلسل الحمض النووي، بصريات المنظار، قوالب أجهزة السوائل الدقيقة |
توفر ZMSH تخصيصًا شاملاً لرقائق الكوارتز مقاس 4 بوصات, بما في ذلك:
- اختيار المواد: سيليكا منصهرة من درجة JGS1/JGS2 UV أو درجة IR.
- التصنيع الدقيق: التلميع النانوي (λ/20)، البنية الدقيقة بالليزر (دقة ±1 ميكرومتر).
- الطلاءات الوظيفية: AR (193-1064nm)، طلاءات ليزر عالية LIDT (>5J/cm²).
- دعم ضمان الجودة: تقارير فحص كاملة (AOI، قياس التداخل).
1. س: ما هو التسامح النموذجي في السماكة لرقائق الكوارتز مقاس 4 بوصات؟
ج: تحافظ رقائق الكوارتز القياسية مقاس 4 بوصات (100 مم) على تسامح السماكة ±0.02 مم عبر نطاق 0.5-1.5 مم، مما يضمن التوحيد لعمليات تصوير أشباه الموصلات.
2. س: لماذا تختار رقائق الكوارتز مقاس 4 بوصات على رقائق 6 بوصات لتطبيقات MEMS؟
ج: توفر الرقائق مقاس 4 بوصات كفاءة التكلفة المثلى لعمليات إنتاج MEMS الصغيرة إلى المتوسطة مع الحفاظ على تحكم أفضل في العملية من الأقطار الأصغر.
العلامة: #ركيزة كوارتز 3 بوصة، #مخصصة، #ألواح سيليكا منصهرة، #SiO₂ Crystal، #رقائق الكوارتز، #درجة JGS1/JGS2، #نقاء عالي، #مكونات بصرية من السيليكا المنصهرة، #لوح زجاج الكوارتز، #ثقوب من خلالها ذات شكل مخصص، #رقاقة كوارتز 4 بوصة، #قطر 100 مم، #تصنيع أشباه الموصلات