|
تفاصيل المنتج:
شروط الدفع والشحن:
|
| قطرها: | 3 بوصة (76.2 مم) | سماكة التسامح: | ± 0.02 مم |
|---|---|---|---|
| خشونة سطح: | ≤1nm (الصف المصقول) | transmittance @193nm: | > 92٪ |
| CTE (RT-300 درجة مئوية): | 0.55 × 10⁻⁶/درجة مئوية | التطبيقات: | تصنيع أشباه الموصلات ، وأشعة الليزر عالية الطاقة |
| إبراز: | قاعدة الكوارتز عالية النقاء,3 بوصة الكوارتز القاع,76.2mm الكوارتز القاع,3 Inch Quartz Substrate,76.2mm Quartz Substrate |
||
رقاقة الكوارتز مقاس 3 بوصات (76.2 مم) عبارة عن ركيزة سيليكا منصهرة عالية النقاء ذات تنسيق كبير مصممة خصيصًا لأشباه الموصلات المتقدمة، والإلكترونيات الضوئية، والتطبيقات البصرية الدقيقة التي تتطلب مناطق معالجة أكبر. بالمقارنة مع الرقائق مقاس 2 بوصة، تعمل مواصفات 3 بوصات على تحسين كفاءة الإنتاج وتقليل فقدان الحواف، مما يجعلها مناسبة بشكل خاص لأجهزة MEMS المصنعة على دفعات، وأقنعة الصور الضوئية المتقدمة، وأنظمة الليزر البصرية.
تتخصص ZMSH في الإنتاج المخصص لرقائق الكوارتز كبيرة الحجم، وتقدم:
· تغطية الحجم الكامل: من رقائق 2 بوصة إلى 12 بوصة، ودعم تخصيص الحجم غير القياسي
· معالجة الأشكال المعقدة: رقائق مستديرة، ألواح مربعة، وقطع ذات أشكال خاصة (مثل على شكل قطاع، قطع على شكل D)
· معالجة سطحية متعددة الوظائف: تلميع أحادي/مزدوج الجانب، طلاءات (AR/IR/DLC)، نقش دقيق للبنية
· حلول الصناعة: نظافة درجة أشباه الموصلات (الفئة 100)، حفر بالليزر، علامات محاذاة عالية الدقة
| Parameter | المواصفات |
| القطر | 3 بوصة (76.2 مم) |
| تفاوت السماكة | ±0.02 مم |
| خشونة السطح | ≤1nm (درجة مصقولة) |
| نفاذية @193nm | >92% |
| CTE (RT-300°C) | 0.55×10⁻⁶/°C |
| التوازي | ≤5μm |
| توافق الفراغ | 10⁻⁹ تور |
- تجانس كبير الحجم: TTV≤15μm بقطر 76.2 مم يضمن توحيد العملية عبر المناطق الكبيرة
- تحسين الأشعة فوق البنفسجية العميقة: >92% نفاذية عند 193 نانومتر، ودعم تطبيقات التصوير الضوئي ArF وتطبيقات الليزر DUV
- مقاومة الصدمات الحرارية: معامل التمدد الحراري 0.55×10⁻⁶/°C، يتحمل دورات درجة الحرارة السريعة (1000°C/min)
- الخمول الكيميائي: مقاومة تآكل البلازما، مناسبة لبيئات الحفر الجاف و CMP
- التعزيز الميكانيكي: يزيد التقوية الكيميائية الاختيارية من قوة الانحناء بنسبة 300% إلى 500 ميجا باسكال
| المجال | تطبيقات محددة |
| تصنيع أشباه الموصلات | ركائز قناع الصور الضوئية ذات التنسيق الكبير، بصريات التصوير الضوئي EUV، متباينات IC ثلاثية الأبعاد |
| الليزر عالي الطاقة | مرايا مرنان الليزر، أغطية نهاية ليزر الألياف بمستوى كيلو واط، ركائز شبكات ضغط نبضات الليزر فائقة السرعة |
| تكنولوجيا الكم | رقائق حاملات الكيوبت، منافذ عرض فراغ رقاقة الذرة الباردة |
| الفضاء | نوافذ حمولة الأقمار الصناعية البصرية، أغطية حماية المستشعرات المقاومة للإشعاع |
| الطب الحيوي | أساتذة رقائق السوائل الدقيقة، ركائز رقائق تسلسل الحمض النووي، موجهات ضوء المنظار |
توفر ZMSH خدمات تخصيص موشور الكوارتز لأطوال موجات الأشعة فوق البنفسجية إلى الأشعة تحت الحمراء، بما في ذلك المناشير القائمة الزاوية، والمناشير الخماسية، ومناشير مقسمة للحزمة، والتي تتميز بما يلي:
· دقة السطح على مستوى النانومتر (λ/10@632.8nm)
· طلاءات خاصة (طلاءات مقاومة لتلف الليزر، طلاءات مقسمة للحزمة المستقطبة)
· المعالجة المتكاملة (هياكل هجينة من المنشور والرقاقة، تصميمات تبريد القنوات الدقيقة)
مثالية للتطبيقات المتطورة في تشكيل حزمة الليزر، والتحليل الطيفي، وتجارب الفيزياء عالية الطاقة.الأسئلة الشائعة
ج: توفر رقائق الكوارتز مقاس 3 بوصات (76.2 مم) مساحة قابلة للاستخدام أكبر بنسبة 44% من رقائق 2 بوصة، مما يقلل من فقدان الحواف ويزيد الإنتاجية لتصنيع MEMS وعمليات الطلاء البصري.
2. س: كيف يتم التعامل مع رقائق السيليكا المنصهرة مقاس 3 بوصات وتخزينها بشكل صحيح؟
ج: استخدم دائمًا حوامل رقائق نظيفة بدرجة غرفة نظيفة مع دعامات تلامس الحواف، وقم بتخزينها في بيئات من الفئة 100 مع
<40% RH لمنع تلوث السطح وامتصاص الرطوبة.العلامة: #ركيزة كوارتز 3 بوصة، #مخصصة، #ألواح سيليكا منصهرة، #SiO₂ Crystal، #رقائق كوارتز، #درجة JGS1/JGS2، #عالية النقاء، #مكونات بصرية من السيليكا المنصهرة، #لوح زجاجي كوارتز، #ثقوب من خلال الشكل المخصص، #ركيزة كوارتز 3 بوصة، #قطر 76.2 مم
اتصل شخص: Mr. Wang
الهاتف :: +8615801942596
