تفاصيل المنتج
Place of Origin: CHINA
اسم العلامة التجارية: ZMSH
إصدار الشهادات: rohs
Model Number: LNOI Wafers
شروط الدفع والشحن
الأسعار: by case
Delivery Time: 2-4weeks
Payment Terms: T/T
Materials:: |
Lithium Niobate Single Crystal |
Size:: |
3 Inch 4 Inch 6 Inch 8 Inch |
Thickness:: |
300-1000nm |
Orientation:: |
X-axis cut, Y-axis cut, Z-axis cut |
Density:: |
D=4.64（g/cm3） |
Application: |
High-speed optical communication, quantum optics |
Materials:: |
Lithium Niobate Single Crystal |
Size:: |
3 Inch 4 Inch 6 Inch 8 Inch |
Thickness:: |
300-1000nm |
Orientation:: |
X-axis cut, Y-axis cut, Z-axis cut |
Density:: |
D=4.64（g/cm3） |
Application: |
High-speed optical communication, quantum optics |
رقائق LNOI (ليثيوم نيوبات على عازل) تمثل رصيف فوتونيك متكامل عالي الأداء تم تصنيعه من خلال تقنيات اتصال رقائق متقدمة (مثل Smart Cut TM أو الارتباط المباشر) ،دمج الأفلام الرقيقة LiNbO3 من بلور واحد (100nm-1μm سمك) على الركائز العازلة (مثل SiO2 / Si أو الزفير). يوفر ZMSH رقائق LNOI ذات 4 بوصات و 6 بوصات وحجم مخصص تدعم توجهات بلورية متعددة (X-cut ، Y-cut ، Z-cut) ، مع تعديل للفيلم (على سبيل المثال ،مكافحة MgO لتعزيز عتبة الضرر البصري) وسمك طبقة الأكسيد المدفونة (100nm-2μm)تشمل خيارات الأساس السيليكون أو الكوارتز أو كربيد السيليكون لتلبية الاحتياجات المختلفة لتكامل الأجهزة الإلكترونية الضوئية. تقدم ZMSH دعمًا تقنيًا شاملًا من التصميم إلى الإنتاج الضخم ،بما في ذلك تحسين الفيلمخدمات اختبار مستوى الجهاز، مما يتيح تطبيقات متطورة في الاتصالات البصرية عالية السرعة والحوسبة الكمومية.
| S.N | المعلمات | المواصفات |
| 1 | المواصفات العامة للوافير LNOI | |
| 1.1 | الهيكل | LiNbO3 / أكسيد / Si |
| 1.2 | قطرها | Φ100 ± 0.2 ملم |
| 1.3 | سمك | 525 ± 25 ميكرومتر |
| 1.4 | الطول المسطح الأساسي | 32.5 ± 2 ملم |
| 1.5 | حفرة الوعاءات | نوع R |
| 1.6 | القيمة القصوى | < 1.5 ميكرومتر (5 × 5 ميكرومتر) 95٪ |
| 1.7 | اركبي | +/-50 ميكرومتر |
| 1.8 | حركة الدوران | < 50 ميكرومتر |
| 1.9 | تقليم الحافة | 2 ± 0.5 ملم |
| 2 | مواصفات طبقة نيوبات الليثيوم | |
| 2.1 | متوسط السماكة | 400 نون ± 10 نون |
| 2.2 | التوجيه | محور X ± 0.5° |
| 2.3 | التوجه السطح الأول | محور Z ± 1° |
| 2.4 | خشونة السطح الأمامي ((Ra)) | < 1 nm |
| 2.5 | عيوب السندات | > 1 ملم لا يوجد ≤ 1 ملم ضمن مجموع 80 |
| 2.6 | خدش السطح الأمامي | > 1 سم لا يوجد ≤ 1 سم داخل ≤3 |
| 3 | مواصفات طبقة الأكسيد (SiO2) | |
| 3.1 | سمك | 4700 ± 150 nm |
| 3.2 | التوحيد | ± 5% |
| 4 | مواصفات طبقة Si | |
| 4.1 | المواد | نعم |
| 4.2 | التوجيه | <100> ± 1 درجة |
| 4.3 | التوجه السطح الأول | < 110> ± 1 درجة |
| 4.4 | المقاومة | > 10 kΩ·cm |
| 4.5 | الجانب الخلفي | محفورة |
| ملاحظات: مطلوب تصريح ساري المفعول/آخر تصريح من مصنع الجهاز الأصلي | ||
(1) خسارة بصرية منخفضة للغاية: فقدان الانتشار الموجي <0.05 ديسيبيل / سم (1550nm band) ، أقل بـ 10 مرات من أجهزة LiNbO3 الشاملة التقليدية.
(2) تأثير كهربائي بصري قويمعدل الكهرباء البصرية الفعالة (r33) تصل إلى 90 pm / V (تعزيز 3 × عن طريق الحبس المجال البصري) ، مما يتيح تعديل الجهد المنخفض للغاية (Vπ ~ 1V).
(3) كثافة التكامل العالية: يدعم الموجهات الموجية تحت الميكرون (عرض < 1μm) ، مما يقلل من بصمة الجهاز بنسبة 100 × مقارنة مع LiNbO3 السائبة.
(4) متوافقة CMOS: يتيح التكامل غير المتجانس مع منصات فوتونيك السيليكون (SiPh) ونتريد السيليكون (SiN) للشرائح الفوتونية متعددة الوظائف.
(5) الاستقرار الحراري: درجة حرارة كوري تصل إلى 1140 درجة مئوية، مناسبة لعمليات التعبئة عالية درجة الحرارة.
1الاتصالات البصرية عالية السرعة: يؤدي تأثير LNOI الكهربائي البصري القوي إلى جعله مثاليًا للوحدات البصرية المتماسكة 200Gbps + ، مثل وحدات LiNbO3 الرقيقة (عرض النطاق > 100GHz).
2البصريات الكمية: خصائص الخسارة المنخفضة تدعم توليد أزواج الفوتون المتشابكة والتلاعب بالحالة الكمية لشبكات الحوسبة الكمية القابلة للتوسع.
3. الفوتونيات الميكروويفية: جنبا إلى جنب مع تأثيرات الطاقة الكهربائية ، تمكن من التشكيلات المرحلية البصرية والمرشحات الفوتونية الميكروويفية (التي تغطي 5G / 6G mmWave bands).
4البصريات غير الخطية: معامل غير خطي مرتفع (χ (((2)) مناسبة لمشاطات التردد وأجهزة تضخيم المعلمات.
5تطبيقات الاستشعار: تستخدم في أجهزة استشعار كيميائية حيوية عالية الحساسية (على سبيل المثال، أجهزة الرنين المجهرية القائمة على السيليكون).
كشركة رائدة في توفير الأساس الفوتوني المتكامل ، تقدم ZMSH خدمات فنية كاملة تغطي سلسلة القيمة بأكملها LNOI ، بما في ذلك تصميم فيلم رقيق مخصص (على سبيل المثال ،LiNbO3) المضغوط بالدرجة، تطوير عملية الربط على مستوى الوافر (دعم SiO2 ، AlN ، وغيرها من الطبقات العازلة) ، التصنيع النانوي (EBL و IBE) ، والتحقق من الأداء على مستوى الجهاز (على سبيل المثال ،اختبار الاستجابة الكهربائية البصرية وتوصيف THz)وقد حققت ZMSH إنتاج دفعات صغيرة من رقائق LNOI 6 بوصة مع > 90٪ من العائد ،وتتعاون مع مؤسسات البحوث العالمية لتطوير تقنيات 8 بوصاتوتركز الأبحاث والتطوير المستقبلية على الحد من خسائر الإدراج (الهدف <0.02 ديسيبل/سم) وتحسين كفاءة التشكيل (تحسين r33 إلى 120 pm/V لتلبية متطلبات الاتصالات البصرية 800G والإنترنت الكمي.
1س: ما هو استخدام ليتيم نيوبات؟
ج: يستخدم نيوبات الليثيوم (LiNbO3) على نطاق واسع في الاتصالات البصرية (على سبيل المثال ، وحدات ، الموجهات الموجية) ، أجهزة الموجات الصوتية السطحية ، البصريات غير الخطيّة (تضاعيف التردد ، مذبذبات المعلمات) ،وأجهزة استشعار بييزو كهربائية.
2س: ما هو سمك رقائق نيوبات الليثيوم؟
ج: عادة ما تكون رقائق LiNbO3 التقليدية سميكة 0.5 ∼ 1 ملم ، في حين تتراوح إصدارات الأفلام الرقيقة (على سبيل المثال ، للفوتونيات المتكاملة) من 300 نانومتر إلى 900 نانومتر.
تعليقات: #3إنش/4إنش/6إنش/8إنش, #مخصص, #فيلم رقيق ليتيوم نيوبات, #فليمات LNOI, #غير مطلية, #خسارة بصرية <0.05 ديسيبل/سم
