تفاصيل المنتج
مكان المنشأ: الصين
اسم العلامة التجارية: zmsh
شروط الدفع والشحن
Material: |
SiC Ceramic |
Size: |
Customized |
Material: |
SiC Ceramic |
Size: |
Customized |
ناقل قوارب سيراميكي مخصص لتحميل الوافرات
ناقل القوارب السيراميكية المخصصة من كربيد السيليكون (SiC) هو حل عالية الأداء للتعامل مع رقائق المصممة لعمليات تصنيع أشباه الموصلات والطاقة الكهروضوئية و LED.مصممة للاستقرار في درجات الحرارة العالية، المقاومة الكيميائية ، والتلوث المنخفض للغاية ، يضمن هذا الناقل نقل رقائق آمنة وفعالة في بيئات متطلبة مثل CVD ، وأفران الانتشار ، وغرف الأكسدة.
المزايا الرئيسية للقارب السيراميكي
الاستقرار الحراري العالي يتحمل درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية دون تشوه.
الحصانة الكيميائية ️ مقاومة الأحماض والقليات وتآكل البلازما ، مما يضمن المتانة طويلة الأجل.
إنتاج الجسيمات المنخفضة يقلل من التلوث في EUV وتصنيع العقدة المتقدمة.
تصميم قابلة للتخصيص مصممة خصيصًا لحجم الوافر ومساحة الفتحة ومتطلبات المعالجة
مثالية لمصانع أشباه الموصلات ، وإنتاج MEMS ، ومعالجة أشباه الموصلات المركبة
المواصفات
| محتوى كربيد السيليكون | - | % | > 99.5 |
| متوسط حجم الحبوب | - | ميكرون | 4-10 |
| الكثافة السائبة | - | كغ/ديمتر^3 | >3.14 |
| مسامية واضحة | - | حجم % | <0.5 |
| صلابة فيكرز | HV0.5 | كغ/ملم^2 | 2800 |
| نموذج الانكسار (3 نقاط) | 20 درجة مئوية | MPa | 450 |
| قوة الضغط | 20 درجة مئوية | MPa | 3900 |
| نموذج المرونة | 20 درجة مئوية | الـ GPa | 420 |
| صلابة الكسر | - | MPa/m^1/2 | 3.5 |
| التوصيل الحراري | 20 درجة مئوية | (م*ك) | 160 |
| المقاومة الكهربائية | 20 درجة مئوية | أوم.سيمتر | 10^6-10^8 |
| معامل التوسع الحراري | أ (RT"800°C) |
K^-1*10^-6 | 4.3 |
| درجة حرارة التطبيق | الغلاف الجوي المكسور | °C | 1600 |
| درجة حرارة التطبيق | الغلاف الجوي الخامل | °C | 1950 |
تطبيقات قارب السيراميك SiC
1صناعة أشباه الموصلات
✔ أفران الانبعاث والتشويش
- الاستقرار في درجات الحرارة العالية يتحمل 1600 درجة مئوية (تأكسيد) / 1950 درجة مئوية (عدم الفعالية) دون تشوه
- التوسع الحراري المنخفض (4.3 × 10 - 6 / K) يمنع تحريف الوافر في المعالجة الحرارية السريعة (RTP).
✔ أمراض القلب والأوعية الدموية (نمو SiC/GaN)
- مقاومة تآكل الغازات غير فعال لـ SiH4 ، NH3 ، HCl ، وغيرها من السلائف العدوانية.
- سطح خالٍ من الجسيمات ملمع (Ra < 0.2μm) لترسب البيتاكسيال الخالي من العيوب.
✔ زرع الأيونات
- المقاومة للإشعاع لا يوجد تدهور تحت قصف الأيونات عالية الطاقة
2إلكترونيات الطاقة (أجهزة SiC/GaN)
✔ معالجة الوافرات السيكية
- تطابق CTE (4.3×10−6/K) يقلل من الإجهاد في نمو القاع البشري عند 1500 درجة مئوية.
- التوصيل الحراري العالي (160 W / m · K)
✔ أجهزة غان على سيك
- لا تلوث لا إفراج عن أيونات المعدن مقابل قوارب الجرافيت
3إنتاج الطاقة الشمسية
✔ الخلايا الشمسية PERC & TOPCon
- مقاومة الـ POCl3 للانتشار تتحمل بيئات التنفس بالفوسفور
- حياة خدمة طويلة 5 - 10 سنوات مقابل 1-2 سنة للقوارب الكوارتز.
✔ الطاقة الشمسية ذات الفيلم الرقيق (CIGS/CdTe)
- مقاومة للتآكل مستقر في عمليات ترسب H2Se و CdS.
4. LED & Optoelectronics أجهزة إلكترونية
✔ ميني / ميكرو LED Epitaxy
- تصميم فتحة الدقة
- متوافق مع غرف النظافة يلبي معايير الجسيمات F57
5البحوث والتطبيقات المتخصصة
✔ تجميع المواد عالية الوتيرة
- مساعدات التجفيف (مثل B4C ، AlN) عديمة الفاعلية الكيميائية في بيئات 2000 °C +.
- نمو البلورات (على سبيل المثال، Al2O3، ZnSe)
الأسئلة الشائعة
س1:ما هي أحجام الوافرات المدعومة؟
القياسية: 150mm (6 ") ، 200mm (8 ") ، 300mm (12 ") ، تخصيص متاح عند الطلب.
س2: ما هو الوقت الرئيسي للتصاميم المخصصة؟
- النماذج القياسية: 4-6 أسابيع.
- مخصصة بالكامل: 8-12 أسبوعاً (اعتماداً على التعقيد)
فيديو
