يستخدم فرن زراعة الصبغات سي سي PVT و Lely TSSG و LPE طرق لزراعة بلورات كبيرة الحجم من 4 بوصة و 6 بوصة و 8 بوصة

يستخدم فرن زراعة السبائك سي سي PVT، ليلي، TSSG و LPE الطرق لزراعة بلورات كبيرة الحجم من 4 بوصة، 6 بوصة و 8 بوصة

تركز معدات نمو البلاطات على زراعة بلورات كبيرة بحجم 4 "، 6 " و 8 " وتحقق معدلات نمو سريعة. باستخدام تقنيات متطورة بما في ذلك PVT و Lely و TSSG و LPE،يحتوي التصميم على نظام تدفق درجة الحرارة المحوري المنظم بدقة، تعديل مرن لتدرج درجة الحرارة الشعاعية ، و منحنى تغير درجة الحرارة السلس ، والذي يساهم معا في تسوية واجهة نمو البلور ،وبالتالي زيادة سمك الكريستال المتاح.

من خلال تحسين توزيع المجال الحراري ، تقلل المعدات بفعالية من فقدان المواد الخام ، وتحسين معدل الاستخدام الفعلي للغبار ، وتقلل بشكل كبير من نفايات المواد.بالإضافة إلى، يسمح الجهاز بتحكم دقيق في تراجع درجات الحرارة المحوري والشعاعي، مما يساعد على تقليل الإجهاد وكثافة الانحراف داخل الكريستال.هذه الفوائد تترجم مباشرة إلى أعلى مستويات الكريستال، انخفاض مستويات الإجهاد الداخلي وتحسين اتساق المنتج، مما يجعلها أداة لا غنى عنها لإنتاج بلورات SiC على نطاق واسع وفعالة من حيث التكلفة.

أنواع الكريستال الخاصة لمواقد زراعة السيكروسيليوم

فرن نمو البلاط SiC هو المعدات الأساسية لتكنولوجيا نمو بلور SiC ، ودعم احتياجات الإنتاج من أحجام مختلفة من رقائق 4 بوصة و 6 بوصة و 8 بوصة.الجهاز يدمج العديد من العمليات المتقدمة، بما في ذلك PVT (تحويل البخار الفيزيائي) ، طريقة ليلي ، TSSG (طريقة حل تدريجية درجة الحرارة) و LPE (طريقة البيتاكسي في المرحلة السائلة).طريقة PVT تحقق نمو الكريستال من خلال الترطيب في درجة حرارة عالية وإعادة التبلور، يستخدم أسلوب ليلي لتحضير بذور البلورات عالية الجودة، وتسيطر طريقة TSSG على معدل نمو البلورات من خلال تراجعات درجة الحرارة،وقاعدة LPE مناسبة للنمو الدقيق للطبقات البيتاكسياليزيد الجمع بين هذه التقنيات بشكل كبير من كفاءة نمو وجودة بلورات SiC.

تصميم فرن نمو SiC يسمح له بزراعة مجموعة متنوعة من الهياكل الكريستالية بمرونة ، مثل 4H و 6H و 2H و 3C ،من بينها الهيكل 4H هو الاختيار الأول لأجهزة الطاقة بسبب خصائصه الكهربائية الممتازةهذه الهياكل البلورية لها تطبيقات مهمة في أجهزة الطاقة SiC ومواد أشباه الموصلات، وخاصة في الإلكترونيات الطاقة، وسيارات الطاقة الجديدة، والاتصالات 5G،وأجهزة الجهد العالي، حيث يمكنهم تحسين أداء الجهاز وكفاءة استخدام الطاقة بشكل كبير.

وبالإضافة إلى ذلك، يضمن فرن نمو SiC تكافل نمو الكريستال عالية ونسبة عيب منخفضة من خلال التحكم الدقيق في درجة الحرارة وبيئة نمو محسنة.وقدراتها الإنتاجية لا تنعكس فقط في النمو المستقر للبلورات عالية الجودة، ولكن أيضا لتلبية احتياجات الإنتاج الصناعي على نطاق واسع، وتوفير الدعم التقني الموثوق به للتطبيق الواسع للمواد SiC.

مزايا فرن زراعة السيقوت

1تصميم مجال حراري فريد

تعكس مزايا تصميم طريقة مقاومة PVT من ZMSH بشكل رئيسي في النقطتين التالية:

According to the process needs to design a single or multiple independent temperature controllable heaters to meet the needs of precise control of large size SiC crystal growth temperature and raw material heating temperature، يمكن التحكم في تراجع درجة الحرارة الشعاعية لنمو الكريستال، وهو أكثر ملاءمة لنمو الكريستال من حجم كبير (وخاصة أكثر من 8 بوصات)الموجات الكهرومغناطيسية المنبعثة من الملفات المختلفة في طريقة الاستقراء (الملفات 1 و 2 في الشكل أعلاه) سيكون لها مناطق متقاطعة، مما يجعل من الصعب التحكم بدقة في درجة حرارة نمو البلور.

يتم تصميم آلية الرفع ، والتي يمكن أن تجد منحدر درجة الحرارة الطولية المناسبة وفقًا لخصائص أجهزة التدفئة المختلفة.تم تصميم آلية دوارة للقضاء على درجة حرارة غير متساوية من محيط الوعاء.

• منحدر درجة الحرارة المحوري قابل للسيطرة، منحدر درجة الحرارة الشعاعي قابل للتعديل، خط درجة الحرارة لطيف، واجهة نمو البلورات مسطحة تقريبًا،وتزداد سمك البلور.

• تقليل استهلاك المواد الخام: يتم توزيع الحقل الحراري الداخلي بالتساوي، مما يجعل توزيع درجة الحرارة الداخلية للمواد الخام أكثر تكافؤًا.تحسين كبير في معدل استخدام مسحوق وتقليل النفايات.

• لا يوجد ارتباط قوي بين درجة الحرارة المحورية ودرجة الحرارة الشعاعية. يمكن التحكم في تراجع درجة الحرارة المحورية ودرجة الحرارة الشعاعية بدقة عالية على التوالي ،الذي هو المفتاح لحل الضغط الكريستالي وتقليل كثافة خلع الكريستال.

2دقة التحكم العالية

التحكم بدقة عالية في فرن نمو بلورات SiC هو واحدة من مزاياه التقنية الأساسية ، والتي تنعكس بشكل رئيسي في الجوانب التالية: دقة إمدادات الطاقة تصل إلى 0.0005 ٪ لضمان استقرار وتوافق عملية التسخين؛ دقة التحكم في تدفق الغاز ± 0.05L / h لضمان إمدادات دقيقة للغاز التفاعلي ؛ دقة التحكم في درجة الحرارة ± 0.5 ° C ،التي توفر بيئة حرارية متساوية لنمو الكريستالدقة التحكم في الضغط في التجويف هي ± 10 Pa ، وتحافظ على ظروف نمو مستقرة.هذه المعلمات التحكم عالية الدقة تعمل معا لضمان نمو عالية الجودة من بلورات سي سي.

المكونات الرئيسية لفرن نمو SiC تشمل صمام متناسب ومضخة ميكانيكية ومقياس تدفق الغاز ومضخة جزئية وإمدادات الطاقة.يتم استخدام الصمام النسبي لتنظيم تدفق الغاز بدقة وتؤثر مباشرة على تركيز وتوزيع غاز التفاعلالمضخات الميكانيكية والجزيئية تعمل معا لتوفير بيئة فراغ عالية وتقليل تأثير الشوائب على نمو الكريستالمعداد تدفق الغاز يضمن دقة مدخل الغاز والحفاظ على ظروف نمو مستقرة؛ يوفر مصدر الطاقة عالية الدقة إدخال طاقة مستقرة إلى نظام التدفئة لضمان دقة التحكم في درجة الحرارة.العمل التعاوني لهذه المكونات يلعب دورا حاسما في معدل النمو، جودة الكريستال ومكافحة العيوب في بلورات SiC.

توفر أفران نمو SiC من ZMSH ضمانًا موثوقًا لإنتاج كريستالات SiC عالية الجودة بفضل التحكم في الدقة العالية والتصميم الأمثل للمكونات الرئيسية.هذا لا يعزز فقط التطبيق الواسع لأجهزة الطاقة SiC في مجالات إلكترونيات الطاقة، وسائل الطاقة الجديدة والاتصالات 5G، ولكنها تضع أيضا أساسا صلبا للتطوير المبتكر لتكنولوجيا أشباه الموصلات في المستقبل.مع استمرار الطلب على مواد SiC في النمو، ستدفع تقدم تكنولوجيا فرن نمو SiC من ZMSH الصناعة نحو أداء أعلى وانخفاض التكلفة.

3التشغيل التلقائي

• الرد التلقائي:مراقبة الإشارة، ردود فعل الإشارة

• إنذار تلقائي:تحذير من تجاوز، أمن ديناميكي

• إشارة تشغيل:نظام الخبراء، التفاعل بين الإنسان والكمبيوتر

• التحكم التلقائي:مراقبة وتخزين معايير الإنتاج في الوقت الحقيقي والوصول عن بعد والتحكم في المحطات المحمولة

أفران ZMSH الكربيد السيليكون (SiC) تتضمن تقنية الأتمتة المتطورة المصممة لزيادة كفاءة التشغيل.تم تصميمه بنظام مراقبة تلقائي يمكنه الاستجابة لتغيرات الإشارة في الوقت الحقيقي وتقديم ردود الفعل، مع تشغيل إنذارات تلقائيًا إذا تجاوزت المعلمات نطاقًا محددًا مسبقًا. بالإضافة إلى ذلك ، يدعم النظام الوصول عن بعد ،تمكين المستخدمين من مراقبة المعلمات في الوقت الحقيقي وتحقيق التحكم الدقيقوعلاوة على ذلك، فإن النظام له وظيفة استدعاء نشطة مدمجة، والتي هي مريحة للدعم عن بعد من قبل الخبراء، ولكن أيضا تحسين تجربة التفاعل بين البشر والآلات،ضمان التشغيل السلس.

هذه السلسلة من الميزات المبتكرة تقلل بشكل كبير من الحاجة إلى التدخل اليدوي، وتعزز دقة إدارة عملية الإنتاج،يضمن بفعالية إنتاج عالية الجودة من السبائك SiC، ويضع أساساً متيناً لتحسين الكفاءة في بيئات التصنيع على نطاق واسع.

شاشة أفران نمو الكربيد السيليكوني البلورية الواحدة