ما هو FOUP في تصنيع الرقائق؟
في تصنيع أشباه الموصلات ، فإن الحاوية الموحدة المفتوحة الأمامية (FOUP) هي حاوية حاسمة تستخدم لحماية ونقل وتخزين رقائق. تم تصميمها لاحتواء 25 قطعة من رقائق 300 مم ،مكوناتها الرئيسية تشمل غرفة مفتوحة أمامية وإطار باب مخصصوباعتبارها الناقل الأساسي في أنظمة النقل الآلي لمصانع الوافير 12 بوصة، تبقى FOUP مغلقة أثناء النقل ولا تفتح إلا عند وضعها في ميناء تحميل الأداة لنقل الوافير.
تم تصميم FOUPs لتلبية متطلبات البيئة الدقيقة الصارمة. يحتوي الجزء الخلفي على فتحات رقائق متوافقة مع الذراعين الروبوتية ، في حين أن الباب يتماشى بدقة مع آليات المقبض.يعمل روبوتات معالجة الوافرات في الغرف النظيفة من الفئة 1 (≤10 جزيئات ≥0.1 μm/m3) ، مما يضمن النقل الخالي من التلوث. تستخدم المصانع الحديثة أنظمة السكك الحديدية المثبتة في السقف لنقل FOUP ، على الرغم من أن المرافق القديمة قد تستخدم المركبات الآلية الموجهة على الأرض (AGVs).
وبالإضافة إلى النقل، تعمل FOUPs كحلول تخزين.عشرات الآلاف من الفطائر قد تكون في طريقها أو تخزينها مؤقت في أي وقتتخضع أجهزة التخزين الفورية للتطهير الدوري للنيتروجين لمنع التعرض للملوثات ، والحفاظ على نظافة عالية للغاية أثناء التخزين.
الوظائف الأساسية وأهميتها
الحماية من الصدمات الميكانيكية والتلوث أثناء النقل، مما يؤثر بشكل مباشر على العائد.تستخدم FOUP المتقدمة تطهير الغازات ومراقبة الغلاف الجوي المحلي (LAC) لتخفيف الرطوبة والمركبات العضوية المتطايرة (VOCs)أنظمتهم المغلقة تقيد العناصر الخارجية (الأكسجين والرطوبة والملوثات) إلى مستويات <3 جزيئات / ساعة داخل.
يزن FOUP الكامل 9 كجم ، مما يتطلب أنظمة معالجة المواد الآلية (AMHS) للنقل. تتضمن FOUP لوحات الارتباط والدبابيس والثقوب للتوافق مع AMHS ،جنبا إلى جنب مع العلامات RFID للتتبع في الوقت الحقيقي وتصنيفهذه الأتمتة تقلل من الأخطاء البشرية وتعزز السلامة / الدقة.- نعم
تصنيف هيكلي ووظيفي
الأبعاد: 420 ملم (غ) × 335 ملم (د) × 335 ملم (ه).
2المكونات الرئيسية:
3.فئات الاستخدام:
4تصنيف التلوث:
•FE FOUP: الجانب الأمامي (عمليات خالية من المعادن).
•BE FOUP: الخلفية (العمليات التي تحتوي على المعادن).
•الأنواع المتخصصة: NI (النيكل) ، CU (النحاس) ، CO (الكوبالت) لخطوات تحديد المعادن.
•- نعمملاحظة: أجهزة FOUP الأمامية متوافقة مع العمليات الخلفية ، ولكن ليس العكس.
الاستنتاج
إن أجهزة FOUP لا غنى عنها في المصانع الحديثة، حيث أنها تجمع بين الأتمتة المتقدمة، ومكافحة التلوث، والمتانة لحماية الوافرات من خلال دورات التصنيع المعقدة.تصميمهم يدعم مباشرة تحسين الإنتاج و قابلية التوسع في الإنتاج بكميات كبيرة.
بصفتها الشركة الوطنية الرائدة في تصنيع ناقلات أساسية للشاشات نصف الموصلة، تلتزم ZMSH بتقديم حلول متكاملة تركز على خدمات دورة الحياة، بما في ذلك التصميم المخصص،تسليم سريع، والدعم التقني بعد البيع. الاستفادة من شبكة سلسلة التوريد القائمة على الذكاء الاصطناعي والتعاون العميق مع المصانع العالمية من المستوى الأول،نحن نضمن استجابة عالمية لمدة 48 ساعة وخدمات استبدال طارئة لمدة 72 ساعة للحفاظ على استمرارية الإنتاج. في المضي قدماً we will expand our localized service network to provide more efficient and secure wafer transportation solutions for the global semiconductor industry through technological iteration and ecosystem synergy.
ما هو FOUP في تصنيع الرقائق؟
في تصنيع أشباه الموصلات ، فإن الحاوية الموحدة المفتوحة الأمامية (FOUP) هي حاوية حاسمة تستخدم لحماية ونقل وتخزين رقائق. تم تصميمها لاحتواء 25 قطعة من رقائق 300 مم ،مكوناتها الرئيسية تشمل غرفة مفتوحة أمامية وإطار باب مخصصوباعتبارها الناقل الأساسي في أنظمة النقل الآلي لمصانع الوافير 12 بوصة، تبقى FOUP مغلقة أثناء النقل ولا تفتح إلا عند وضعها في ميناء تحميل الأداة لنقل الوافير.
تم تصميم FOUPs لتلبية متطلبات البيئة الدقيقة الصارمة. يحتوي الجزء الخلفي على فتحات رقائق متوافقة مع الذراعين الروبوتية ، في حين أن الباب يتماشى بدقة مع آليات المقبض.يعمل روبوتات معالجة الوافرات في الغرف النظيفة من الفئة 1 (≤10 جزيئات ≥0.1 μm/m3) ، مما يضمن النقل الخالي من التلوث. تستخدم المصانع الحديثة أنظمة السكك الحديدية المثبتة في السقف لنقل FOUP ، على الرغم من أن المرافق القديمة قد تستخدم المركبات الآلية الموجهة على الأرض (AGVs).
وبالإضافة إلى النقل، تعمل FOUPs كحلول تخزين.عشرات الآلاف من الفطائر قد تكون في طريقها أو تخزينها مؤقت في أي وقتتخضع أجهزة التخزين الفورية للتطهير الدوري للنيتروجين لمنع التعرض للملوثات ، والحفاظ على نظافة عالية للغاية أثناء التخزين.
الوظائف الأساسية وأهميتها
الحماية من الصدمات الميكانيكية والتلوث أثناء النقل، مما يؤثر بشكل مباشر على العائد.تستخدم FOUP المتقدمة تطهير الغازات ومراقبة الغلاف الجوي المحلي (LAC) لتخفيف الرطوبة والمركبات العضوية المتطايرة (VOCs)أنظمتهم المغلقة تقيد العناصر الخارجية (الأكسجين والرطوبة والملوثات) إلى مستويات <3 جزيئات / ساعة داخل.
يزن FOUP الكامل 9 كجم ، مما يتطلب أنظمة معالجة المواد الآلية (AMHS) للنقل. تتضمن FOUP لوحات الارتباط والدبابيس والثقوب للتوافق مع AMHS ،جنبا إلى جنب مع العلامات RFID للتتبع في الوقت الحقيقي وتصنيفهذه الأتمتة تقلل من الأخطاء البشرية وتعزز السلامة / الدقة.- نعم
تصنيف هيكلي ووظيفي
الأبعاد: 420 ملم (غ) × 335 ملم (د) × 335 ملم (ه).
2المكونات الرئيسية:
3.فئات الاستخدام:
4تصنيف التلوث:
•FE FOUP: الجانب الأمامي (عمليات خالية من المعادن).
•BE FOUP: الخلفية (العمليات التي تحتوي على المعادن).
•الأنواع المتخصصة: NI (النيكل) ، CU (النحاس) ، CO (الكوبالت) لخطوات تحديد المعادن.
•- نعمملاحظة: أجهزة FOUP الأمامية متوافقة مع العمليات الخلفية ، ولكن ليس العكس.
الاستنتاج
إن أجهزة FOUP لا غنى عنها في المصانع الحديثة، حيث أنها تجمع بين الأتمتة المتقدمة، ومكافحة التلوث، والمتانة لحماية الوافرات من خلال دورات التصنيع المعقدة.تصميمهم يدعم مباشرة تحسين الإنتاج و قابلية التوسع في الإنتاج بكميات كبيرة.
بصفتها الشركة الوطنية الرائدة في تصنيع ناقلات أساسية للشاشات نصف الموصلة، تلتزم ZMSH بتقديم حلول متكاملة تركز على خدمات دورة الحياة، بما في ذلك التصميم المخصص،تسليم سريع، والدعم التقني بعد البيع. الاستفادة من شبكة سلسلة التوريد القائمة على الذكاء الاصطناعي والتعاون العميق مع المصانع العالمية من المستوى الأول،نحن نضمن استجابة عالمية لمدة 48 ساعة وخدمات استبدال طارئة لمدة 72 ساعة للحفاظ على استمرارية الإنتاج. في المضي قدماً we will expand our localized service network to provide more efficient and secure wafer transportation solutions for the global semiconductor industry through technological iteration and ecosystem synergy.
