"القوة الأساسية" لمعدات أشباه الموصلات - مكونات كربيد السيليكون
كربيد السيليكون (SiC) مادة سيراميك هيكلية ممتازة. مكونات كربيد السيليكون، وهي مكونات معدات مصنوعة بشكل أساسي من كربيد السيليكون ومواده المركبة، تمتلك خصائص مثل الكثافة العالية، والتوصيل الحراري العالي، وقوة الانحناء العالية، ومعامل المرونة الكبير. يمكنها التكيف مع بيئات التفاعل القاسية من التآكل الشديد ودرجات الحرارة المرتفعة للغاية في عمليات التصنيع مثل نمو الرقائق، والحفر، وما إلى ذلك. لذلك، يتم استخدامها على نطاق واسع في معدات أشباه الموصلات الرئيسية مثل معدات النمو التبخيري، ومعدات الحفر، ومعدات الأكسدة / الانتشار / التلدين، وما إلى ذلك.
وفقًا للتركيب البلوري، يحتوي كربيد السيليكون على العديد من الأشكال البلورية. حاليًا، الأنواع الشائعة من SiC هي بشكل أساسي 3C و 4H و 6H. أشكال بلورية مختلفة من SiC لها تطبيقات مختلفة. من بينها، يشار إلى 3C-SiC أيضًا باسم β-SiC. أحد التطبيقات الهامة لـ β-SiC هو كمادة فيلم وطلاء. لذلك، في الوقت الحاضر، β-SiC هو المادة الرئيسية المستخدمة لطلاء قاعدة الجرافيت.
وفقًا لعملية التحضير، يمكن تصنيف مكونات كربيد السيليكون إلى كربيد السيليكون المترسب بالبخار الكيميائي (CVD SiC)، وكربيد السيليكون المتكلس بالتفاعل، وكربيد السيليكون المتكلس بإعادة التبلور، وكربيد السيليكون المتكلس بالضغط الجوي، وكربيد السيليكون المتكلس بالضغط الساخن، وكربيد السيليكون المتكلس بالضغط المتساوي الساخن، وما إلى ذلك.
من بين الطرق المختلفة لتحضير مواد كربيد السيليكون، تنتج طريقة الترسيب الكيميائي للبخار منتجات ذات تجانس ونقاء عاليين، ولدى هذه الطريقة أيضًا تحكم قوي في العملية. تعتبر مواد كربيد السيليكون CVD مناسبة بشكل خاص للاستخدام في صناعة أشباه الموصلات نظرًا لمزيجها الفريد من الخصائص الحرارية والكهربائية والكيميائية الممتازة.
حجم سوق مكونات كربيد السيليكون
01 مكونات كربيد السيليكون CVD
تستخدم مكونات كربيد السيليكون CVD على نطاق واسع في معدات الحفر، ومعدات MOCVD، ومعدات SiC التبخيرية، ومعدات المعالجة الحرارية السريعة، من بين أمور أخرى.
معدات الحفر:أكبر شريحة سوق لمكونات كربيد السيليكون CVD هي معدات الحفر. تشتمل مكونات كربيد السيليكون CVD في معدات الحفر على حلقات التركيز، ورؤوس رش الغاز، والصواني، وحلقات الحواف، وما إلى ذلك. نظرًا لعدم تفاعل وتوصيل كربيد السيليكون CVD المنخفض تجاه غازات الحفر التي تحتوي على الكلور والفلور، فإنه يجعله مادة مثالية لمكونات مثل حلقات التركيز في معدات الحفر بالبلازما.
حلقة تركيز كربيد السيليكون
طلاء قاعدة الجرافيت:الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) منخفض الضغط هو حاليًا العملية الأكثر فعالية لتحضير طلاءات SiC الكثيفة. يتمتع طلاء CVD-SiC بمزايا السماكة والتوحيد القابلين للتحكم. غالبًا ما تستخدم ركائز الجرافيت المطلية بـ SiC كمكونات في معدات الترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD) لدعم وتسخين ركائز البلورات الأحادية، وهي المكونات الأساسية الرئيسية لمعدات MOCVD.
02 التلبيد التفاعلي لمكونات كربيد السيليكون
يمكن أن يكون لمواد SiC التي تخضع للتلبيد التفاعلي (التغلغل الانصهار التفاعلي أو الترابط التفاعلي) معدل انكماش لخط التلبيد يتم التحكم فيه أقل من 1٪. في الوقت نفسه، تكون درجة حرارة التلبيد منخفضة نسبيًا، مما يقلل بشكل كبير من متطلبات التحكم في التشوه ومعدات التلبيد. لذلك، تتمتع هذه التكنولوجيا بميزة تسهيل التصنيع على نطاق واسع للمكونات، وقد تم تطبيقها على نطاق واسع في مجالات التصنيع الهيكلي البصري والدقيق.
بالنسبة لبعض المكونات البصرية عالية الأداء في معدات التصنيع الرئيسية للدوائر المتكاملة، هناك متطلبات صارمة لإعداد المواد.باستخدام طريقة التلبيد التفاعلي لركيزة كربيد السيليكون جنبًا إلى جنب مع الترسيب الكيميائي للبخار لطبقة فيلم كربيد السيليكون (CVDSiC) لتصنيع عاكسات عالية الأداء، عن طريق تحسين معلمات العملية الرئيسية مثل أنواع السلائف، ودرجة حرارة الترسيب، وضغط الترسيب، ونسبة غاز التفاعل، ومجال تدفق الغاز، ومجال درجة الحرارة، يمكن تحضير طبقات فيلم CVD SiC كبيرة المساحة وموحدة، مما يتيح دقة سطح المرآة للاقتراب من مؤشرات أداء المنتجات المماثلة من الخارج.
مرايا بصرية من كربيد السيليكون لآلات الطباعة الحجرية
نجح الخبراء من الأكاديمية الصينية لعلوم ومواد البناء والتكنولوجيا في تطوير تقنية تحضير خاصة، مما يتيح إنتاج مرايا مربعة من السيراميك من كربيد السيليكون ذات حجم كبير وشكل معقد وخفيف الوزن للغاية ومغلقة بالكامل لآلات الطباعة الحجرية وغيرها من المكونات الهيكلية والوظيفية البصرية.
أداء كربيد السيليكون المتكلس بالتفاعل الذي طورته الأكاديمية الصينية لعلوم ومواد البناء والتكنولوجيا يضاهي أداء المنتجات المماثلة من الشركات الأجنبية.
في الوقت الحاضر، تشمل الشركات الرائدة في البحث والتطبيق على مكونات السيراميك الدقيقة للمعدات الأساسية للدوائر المتكاملة في الخارج Kyocera في اليابان، و CoorsTek في الولايات المتحدة، و BERLINER GLAS في ألمانيا، من بين أمور أخرى. من بينها، تمثل Kyocera و CoorsTek 70٪ من حصة السوق لمكونات السيراميك الدقيقة المتطورة المستخدمة في معدات الدوائر المتكاملة الأساسية. في الصين، هناك معهد أبحاث البناء الوطني الصيني، و Ningbo Volkerkunst، وما إلى ذلك. بدأت بلدنا متأخرة نسبيًا في البحث عن تكنولوجيا التحضير والترويج لتطبيق مكونات كربيد السيليكون الدقيقة لمعدات الدوائر المتكاملة، ولا تزال هناك فجوة مقارنة بالمؤسسات الرائدة الدولية.
بصفتها رائدة في تصنيع مكونات كربيد السيليكون المتقدمة، أسست ZMSH نفسها كمزود حلول شامل لمنتجات SiC الدقيقة، حيث تقدم إمكانات شاملة من قطع SiC الميكانيكية المخصصة إلى الركائز عالية الأداء والمكونات الخزفية. من خلال الاستفادة من تقنيات التلبيد الخالية من الضغط وتقنيات التصنيع باستخدام الحاسب الآلي الخاصة بها، نقدم حلول SiC مصممة خصيصًا مع توصيل حراري استثنائي (170-230 واط / م ·؛ ك) وقوة ميكانيكية (قوة انحناء &ge؛ 400 ميجا باسكال)، تخدم التطبيقات المتطلبة عبر معدات أشباه الموصلات، وأنظمة الطاقة للمركبات الكهربائية، والإدارة الحرارية الفضائية. يغطي إنتاجنا المتكامل رأسيًا سلسلة القيمة بأكملها - من تخليق مسحوق SiC عالي النقاء إلى تصنيع مكونات السيراميك ذات الشكل القريب من الشبكة المعقدة - مما يتيح التخصيص الدقيق للتفاوتات الأبعاد (حتى ±؛ 5 ميكرومتر) والتشطيبات السطحية (Ra&le؛0.1 ميكرومتر) لكل من التصميمات القياسية والتطبيقات المحددة. تتميز ركائز SiC مقاس 6 بوصات / 8 بوصات المؤهلة للسيارات للشركة بكثافات أفضل في فئتها للأنابيب الدقيقة (<1 سم⁻²) والتحكم في TTV (<10 ميكرومتر)، في حين أن منتجاتنا الخزفية SiC المرتبطة بالتفاعل تظهر مقاومة فائقة للتآكل في البيئات الكيميائية القاسية. من خلال القدرات الداخلية التي تشمل طلاء CVD، والتشغيل بالليزر، والاختبار غير المدمر، توفر ZMSH دعمًا فنيًا كاملاً من تطوير النماذج الأولية إلى الإنتاج بكميات كبيرة، مما يساعد العملاء على التغلب على تحديات المواد في ظروف التشغيل ذات درجة الحرارة العالية والطاقة العالية والتآكل العالي.
ما يلي هوصفيحة صينية سيراميك SiC من ZMSH:
* يرجى الاتصال بنا لأية مخاوف تتعلق بحقوق الطبع والنشر، وسوف نعالجها على الفور.
