ما هو حلقة تركيز الكوارتز؟

             
حلقة تركيز الكوارتز هي عنصر استهلاك حاسم في عمليات حفر بلازما أشباه الموصلات.عادة ما تكون مصنوعة من الكوارتز المنصهر عالية النقاء وتلعب دورا لا غنى عنه في تصنيع الشريحةوظيفتها الأساسية هي الحصر وتوجيه البلازما لضمان أداء الحفر المتساوي للغاية عبر سطح الوافر.

 

الوظائف الأساسية:
لماذا هو لا غنى عنه لعمليات الحفر؟

أثناء حفر البلازما ، تؤدي حلقات تركيز الكوارتز بشكل أساسي المهام الرئيسية التالية:

• البلازما التركيزية للحفرة الموحدةمن خلال تصميم مخصص، يبقي البلازما مستقرة ومتساوية حتى على حافة الوافرإنه يزيل "تأثير الحافة" ويضمن معدلات الحفر المتسقة للغاية والأبعاد الحرجة (CD) عبر سطح الوافر بأكمله.
   
• حماية المعدات ذات القيمة العالية وتوسيع عمر المكونات: حلقة التركيز تعمل كدرع وقائي قابل للاستهلاك يتحمل قصف البلازما المباشر ، ويحمي المكونات الدقيقة الأساسية الكامنة مثل الجهاز الكهروستاتيكي (ESC) من التلف.
   
• الوقاية من التلوث وحماية إنتاج الوافرات: الكوارتز نفسه لا يحتوي على شوائب ضارة مثل المعادن، ويطلق الأكسجين ببطء تحت التعرض للبلازما.هذا الأكسجين يتفاعل مع البوليمرات الناتجة أثناء الحفر لتشكيل غازات قابلة للضخ بسهولة مثل CO و CO2، مما يمنع بشكل فعال التلوث على الجزء الخلفي من الوافر.

       
جينجيه سيمي كوندوكتور تصنيع مخصص لأجهزة الكوارتز عالية النقاء (5N، 6N النقاء) ، بما في ذلك الكوارتز الاصطناعي، الكوارتز المدمج بالغاز، الكوارتز المدمج كهربائيا، مكونات الكوارتز، حلقات الحفر الكوارتز،حلقات تركيز الكوارتز، رقائق الكوارتز، ورق الكوارتز البصري، الخ Tel: 17826693981.

لماذا الكوارتز؟

      هناك خيارات مواد متعددة لخواتم التركيز، ولكن الكوارتز يبرز لمزيج فريد من خصائصه:

• نظافة عالية جداً: يصل الكوارتز من الدرجة نصف الموصلة عادة إلى نقاء 99.998٪ أو أعلى ، مما يقلل من تلوث الشوائب المعدنية للوافير. أساس إنتاج رقاقة موثوق به.
• مقاومة التآكل الكيميائي العالية: الكوارتز يقاوم تآكل غازات الحفر السامة (مثل CF4 و SF6 و Cl2) وهجوم البلازما.
• استقرار حراري ممتاز: يمكن للكوارتز أن يتحمل درجات حرارة تزيد عن 1000 درجة مئوية وله معامل توسع حراري منخفض للغاية ، مما يضمن استقرارًا بعديًا دقيقًا خلال العمليات عالية درجة الحرارة.
• خصائص كهربائية معطلة مواتية: ثابت الكهرباء المضادة للكهرباء (حوالي 3.8) يدعم أداء التركيز البلازما المرغوب.

التصنيع والسوق:
التصنيع الدقيق والإمدادات العالمية

• التصنيع الدقيق: إنتاج حلقات التركيز الكوارتز تفرض متطلبات عالية للغاية للدقة، مما يتطلب تقنيات معالجة ومصقولة متقدمة بـ 5 محاور.يمكن التحكم في ندرات الأبعاد الرئيسية ضمن ± 0.02 ملم أو حتى ± 0.001 ملم، مع خشونة سطحية (Ra) أقل من 0.002 ميكرو مترا.
• الشركات المصنعة الرئيسية: لاعبون رئيسيون في السوق العالمية يشملون قادة دوليين مثل إنتيجريس، كورس تيك، هيريوس كوارز وتوسوه كوارز، فضلا عن الشركات الصينية مثل دونيوان جوكسين،"تكنولوجيا "زينباو و "جينجيه سيمكوندكتورالمنتجات متوافقة بشكل عام مع منصات الحفر السائدة من المواد التطبيقية (AMAT) ، مثل سلسلة MXP + و Centura.