2023-08-16
01
خبى Tongguang أشباه الموصلات المحدودة
في الوقت الحاضر ، تعتمد التكنولوجيا المستخدمة بشكل شائع لتركيب مسحوق كربيد السيليكون عالي النقاء بشكل أساسي على تخليق الحالة الصلبة لدرجات حرارة عالية من مسحوق السيليكون عالي النقاء ومسحوق الكربون عالي النقاء ، وهو التوليف الذاتي الانتشار عالي الحرارة.لحل مشكلة تركيز شوائب النيتروجين المرتفع في التوليف التقليدي للتكاثر الذاتي لمسحوق SiC ، ابتكرت شركة Hebei Tongguang Semiconductor Co.، Ltd. طريقة تخليق مسحوق كربيد السيليكون بتركيز منخفض من النيتروجين والتي يمكن استخدامها لنمو درجة نقاء عالية بلورات كربيد أحادية شبه عازلة.تستخدم هذه الطريقة مواد إزالة النيتروجين التي تخضع لتفاعلات كيميائية مع عناصر النيتروجين في درجات حرارة عالية.توجد النيتريد المتكونة في شكل مستقر ضمن نطاق درجة حرارة تخليق كربيد السيليكون ، مما يمنع بشكل فعال شوائب النيتروجين من دخول شبكة كربيد السيليكون.إنه يكسر طريقة التوليف التقليدية الحالية للمواد الخام كربيد السيليكون ويحقق تخليق المواد الخام كربيد السيليكون ذات المحتوى المنخفض من النيتروجين ، مع محتوى من النيتروجين أقل من 2 × 1016 قطعة / سم 3 ، وهو مناسب بشكل خاص لنمو شبه عالية النقاء بلورات كربيد أحادية عازلة.
في الوقت الحالي ، الطريقة الأكثر فاعلية لتنمية بلورات SiC هي طريقة نقل البخار الفيزيائي (PVT) ، والبلورات المتكونة في أنظمة التسامي لها مستويات عيب أقل ، مما يجعلها تقنية الإنتاج الضخم التجارية الرئيسية.عند استخدام طريقة PVT لتنمية بلورات SiC ، لا يمكن أن تتجنب معدات النمو ومكونات الجرافيت ومواد العزل التلوث بشوائب النيتروجين.ستمتص هذه المواد كمية كبيرة من شوائب النيتروجين ، مما ينتج عنه نسبة عالية من شوائب النيتروجين في بلورات SiC المزروعة.
في الوقت الحاضر ، يمكن أن يصل نقاء المواد الخام لمسحوق SiC عالي النقاء المُنتَج تجاريًا بشكل عام إلى 99.999٪ فقط ، مع محتوى نيتروجين بنسبة 5٪ × A في الغالب يزيد عن 1016 وحدة / سم 3 يؤثر بشكل خطير على محتوى النيتروجين في منتجها اللاحق - مرتفع - نقاوة بلورات أحادية كربيد السيليكون شبه عازلة.لذلك ، فإن تقليل محتوى شوائب النيتروجين في المواد الخام للمسحوق له أهمية كبيرة لإعداد بلورات كربيد السيليكون شبه العازلة عالية النقاء.أدناه ، بناءً على معلومات براءات الاختراع للعديد من الشركات المعروفة التي كشفت عنها Tianyancha ، يتم تقديم التقنيات ذات الصلة لإعداد مسحوق كربيد السيليكون عالي النقاء.
تتضمن هذه الطريقة الخطوات التالية:
(1) خلط مادة السيليكون الخام والمواد الخام الكربونية جيدًا ؛
(2) أضف مواد إزالة النيتروجين إلى خليط المواد الخام السيليكونية والمواد الخام الكربونية ، ثم ضع البوتقة المحتوية على مواد إزالة النيتروجين والمواد الخام لخليط الكربون السيليكون في غرفة التفاعل ؛مادة البوتقة عبارة عن جرافيت عالي النقاء ، بنقاوة تزيد عن 99.9995٪ ؛
(3) تفريغ غرفة التفاعل لتقليل محتوى الأكسجين والنيتروجين في غرفة التفاعل ؛
(4) تسخين غرفة التفاعل ، ورفع درجة الحرارة ، وتسبب في تفاعل مادة إزالة النيتروجين مع عنصر النيتروجين ، وتشكيل صورة صلبة أو غازية من النيتريد لا تتحلل إلى أقل من 2400 درجة مئوية ؛
(5) حقن غاز خامل في غرفة التفاعل ، والحفاظ على ضغط غرفة التفاعل ، وزيادة درجة حرارة غرفة التفاعل تدريجيًا ، مما يتسبب في تفاعل المادة الخام الكربونية والمواد الخام السيليكونية ، والتبريد تدريجياً إلى درجة حرارة الغرفة ، وإنهاء التفاعل ؛
(6) قم بإزالة النيتريد من كربيد السيليكون الذي تم الحصول عليه للحصول على مادة خام كربيد السيليكون ذات محتوى منخفض من النيتروجين.
02
بكين Tankblue أشباه الموصلات المحدودة
ابتكرت Tianke Heda طريقة تحضير لمسحوق كربيد السيليكون ذي المحتوى المنخفض من النيتروجين وكريستال أحادي كربيد السيليكون.تتضمن طريقة التحضير الخطوات التالية: خلط مسحوق السيليكون عالي النقاء ، ومسحوق الجرافيت عالي النقاء ، والمواد العضوية المتطايرة عالية النقاء ، وترك المادة العضوية المتطايرة عالية النقاء تتبخر إلى أقل من 10٪ من الكتلة الأولية تحت جو خامل.يتم تلبيد المواد المختلطة للحصول على مسحوق كربيد السيليكون يحتوي على نسبة منخفضة من النيتروجين.يستخدم الاختراع مركبات عضوية متطايرة وعالية النقاوة لإزالة النيتروجين من سطح المواد الخام وحدود الحبوب أثناء تحضير مسحوق كربيد السيليكون ، وبالتالي تقليل محتوى النيتروجين في المنتج.أظهرت النتائج التجريبية أن محتوى النيتروجين في مسحوق كربيد السيليكون وبلورة مفردة أقل من 5 × 1016 قطعة / سم 3.
03
Zhongdian مجمع أشباه الموصلات المحدودة
ابتكرت شركة Zhongdian Compound Semiconductor Co. ، Ltd. طريقة توليف لمسحوق كربيد السيليكون ، والتي تشمل: خلط مسحوق الكربون عالي النقاء ومسحوق السيليكون عالي النقاء ، وتحميلهما في بوتقة من الجرافيت.تصطف بوتقة الجرافيت بالجرافيت المفلور ، وتوضع بوتقة الجرافيت في تجويف الفرن ؛رفع درجة حرارة حجرة الفرن ، وأثناء عملية التسخين ، يتم إدخال خليط من الهيدروجين والغاز الخامل إلى حجرة الفرن ، وتتحلل بطانة الجرافيت المفلورة لإطلاق غاز مفلور ؛استخرج الغاز من غرفة الفرن ، مما يتسبب في تفاعل مسحوق الكربون عالي النقاء مع مسحوق السيليكون عالي النقاء للحصول على منتجات وسيطة ؛ارفع درجة حرارة غرفة الفرن لتتسبب في تفاعل منتجات المرحلة المتوسطة وتوليد مسحوق كربيد السيليكون.من خلال توفير طريقة لتركيب مسحوق كربيد السيليكون ، يمكن الحصول على مسحوق كربيد السيليكون عالي النقاء.
04
شاندونغ SICC التكنولوجيا المتقدمة المحدودة
ابتكرت شركة Tianyue Advanced جهازًا وطريقة لتحضير مسحوق كربيد السيليكون ، والذي يتضمن: جسم الفرن ، مع لوحة فاصلة مثبتة داخل جسم الفرن.عندما يتم إغلاق لوحة التقسيم ، يتم تقسيم الجزء الموجود داخل جسم الفرن إلى جزأين ؛عندما يتم فتح القسم ، يتم توصيل جسم الفرن داخليًا ؛سطح القطب مغطى جزئيًا على الأقل بمواد خام مصدر الكربون ؛البوتقة ، توضع داخل جسم الفرن ؛تخضع البوتقة والإلكترود لإزاحة نسبية للسماح للقطب الكهربائي بدخول البوتقة أو مغادرتها.أثناء عملية صهر المواد الخام لمصدر السيليكون ، يتم استخدام قسم لفصل المواد الخام لمصدر السيليكون والمواد الخام الكربونية في الفرن ، وتجنب تبخر سائل السيليكون أثناء التسخين والتبلور في المواد الخام الكربونية ، مما يؤثر على نمو البودرة ويحسن جودة نمو البودرة.يمكن أن تمنع هذه الطريقة تبخر سائل السيليكون أثناء عملية ذوبان المواد الخام لمصدر السيليكون والتبلور في المواد الخام المتفحمة عن طريق التحكم في فتح أو إغلاق القسم ، مما يؤدي إلى انخفاض محتوى شوائب النيتروجين ومحتوى الشوائب الأخرى في المسحوق الذي تم الحصول عليه.يمكن استخدامه لتحضير بلورات كربيد السيليكون عالية النقاء.
اتصل بنا في اي وقت
