كربيد السيليكون CVD(CVD SiC) هي مادة سيراميكية عالية النقاءترسب البخار الكيميائي، حيث تتحلل غازات السباق التي تحتوي على السيليكون والكربون عند درجات الحرارة العالية وتودع طبقة كثيفة من SiC على الركيزة.
بالمقارنة مع الكربيد السيليكوني المختلط أو المرتبط بالرد، يوفر CVD SiC:
هذه الخصائص تجعله مادة حاسمةمعدات تصنيع أشباه الموصلاتخاصة في العمليات المتقدمة التي تتطلب بيئات نظيفة للغاية.
يتم تصنيف CVD SiC عادةً حسب المقاومة الكهربائية ، والتي تؤثر مباشرةً على سلوكها في بيئات عمليات أشباه الموصلات.
![]()
![]()
يستخدم CVD SiC على نطاق واسع في مكونات معدات أشباه الموصلات الحرجة حيث تتضمن الظروف القاسية.
![]()
إن تطوير الـ CVD SiC مرتبط ارتباطاً وثيقاً بما يلي:
مع تقلص هندسة الأجهزة وزيادة تعقيد العملية، فإن الطلب علىمواد نظيفة للغاية عالية الأداءلا يزال ينمو.
تظهر الصناعة حالياً عدة سمات واضحة:
التركيز على التطوير المستقبلي:
لتلبية متطلبات العمليات المتقدمة في مجال أشباه الموصلات
كربيد السيليكون هو مادة مهمة في تصنيع أشباه الموصلات الحديثةو الأداء الحراري يجعلها لا غنى عنها لمعدات العملية المتقدمة.
سيتم دفع نمو السوق في المستقبل بواسطة:
من المتوقع أن تقود الشركات ذات القدرات القوية في التحكم في العمليات والإنتاج القابل للتوسع وتأهيل العملاء السوق.
كربيد السيليكون CVD(CVD SiC) هي مادة سيراميكية عالية النقاءترسب البخار الكيميائي، حيث تتحلل غازات السباق التي تحتوي على السيليكون والكربون عند درجات الحرارة العالية وتودع طبقة كثيفة من SiC على الركيزة.
بالمقارنة مع الكربيد السيليكوني المختلط أو المرتبط بالرد، يوفر CVD SiC:
هذه الخصائص تجعله مادة حاسمةمعدات تصنيع أشباه الموصلاتخاصة في العمليات المتقدمة التي تتطلب بيئات نظيفة للغاية.
يتم تصنيف CVD SiC عادةً حسب المقاومة الكهربائية ، والتي تؤثر مباشرةً على سلوكها في بيئات عمليات أشباه الموصلات.
![]()
![]()
يستخدم CVD SiC على نطاق واسع في مكونات معدات أشباه الموصلات الحرجة حيث تتضمن الظروف القاسية.
![]()
إن تطوير الـ CVD SiC مرتبط ارتباطاً وثيقاً بما يلي:
مع تقلص هندسة الأجهزة وزيادة تعقيد العملية، فإن الطلب علىمواد نظيفة للغاية عالية الأداءلا يزال ينمو.
تظهر الصناعة حالياً عدة سمات واضحة:
التركيز على التطوير المستقبلي:
لتلبية متطلبات العمليات المتقدمة في مجال أشباه الموصلات
كربيد السيليكون هو مادة مهمة في تصنيع أشباه الموصلات الحديثةو الأداء الحراري يجعلها لا غنى عنها لمعدات العملية المتقدمة.
سيتم دفع نمو السوق في المستقبل بواسطة:
من المتوقع أن تقود الشركات ذات القدرات القوية في التحكم في العمليات والإنتاج القابل للتوسع وتأهيل العملاء السوق.