لمحة شاملة عن السيراميك المتقدم المستخدم في معدات أشباه الموصلات
تعتبر المكونات الخزفية الدقيقة عناصر أساسية في المعدات الأساسية لعمليات تصنيع أشباه الموصلات الرئيسية مثل التصوير الضوئي ، والحفر ، وتراكم الفيلم الرقيق ، وتثبيت الأيونات ، و CMP.هذه الأجزاء بما فيها المحامل، قوالب التوجيه ، طوابق الغرف ، المسامير الكهروستاتية ، والأذرع الروبوتية مهمة بشكل خاص داخل غرف العمليات ، حيث تعمل وظائف مثل الدعم والحماية ومراقبة التدفق.
توفر هذه المقالة نظرة عامة منهجية عن كيفية تطبيق السيراميك الدقيق في معدات تصنيع أشباه الموصلات الرئيسية.
لضمان دقة العملية العالية في أنظمة التصوير الصورية المتقدمة، مجموعة واسعة من المكونات السيراميكية مع متعدد الوظائف الممتازة، والاستقرار الهيكلي، والمقاومة الحرارية،ويتم استخدام دقة الأبعادوتشمل هذه القوائم القوائم الكهربائية، والقوائم الفراغية، والكتل، وقواعد المغناطيس المبردة بالماء، والعاكسات، والسكك الحديدية، والمراحل، وحاملات الأقنعة.
المكونات السيرامية الرئيسية:تشوك الكهربائي الستاتيكي، مرحلة الحركة
المواد الرئيسية:عجلات كهربائية:الألومينا (Al2O3) ، نتريد السيليكون (Si3N4),مراحل الحركة:السيراميك الكورديريت، كاربيد السيليكون (SiC)
التحديات التقنية:تصميم هيكل معقد، التحكم في المواد الخام والتخمير، إدارة درجة الحرارة، والآلات عالية الدقة.
النظام المادي لمراحل حركة الطباعة الحجرية أمر حاسم لتحقيق دقة عالية وسرعة مسح.يجب أن تتميز المواد بقسوة محددة عالية وانتشار حراري منخفض لتحمل الحركات عالية السرعة مع الحد الأدنى من التشوهات، وبالتالي تحسين الإنتاجية والحفاظ على الدقة.
الحفر أمر بالغ الأهمية لنقل أنماط الدوائر من القناع إلى الوافر. تشمل المكونات السيراميكية الرئيسية المستخدمة في أدوات الحفر الغرفة ونوافذ المنظر ولوحة توزيع الغاز والفوهاتحلقات عازلة، لوحات الغطاء، حلقات التركيز، والشوكات الكهربائية.
المكونات السيرامية الرئيسية:عجلة الكهرباء الثابتة، حلقة التركيز، لوحة توزيع الغاز
المواد السيرامية الرئيسية:الكوارتز، SiC، AlN، Al2O3، Si3N4، Y2O3
مع هندسية الجهاز المتقلص ، هناك حاجة إلى ضوابط تلوث أكثر صرامة. يفضل السيراميك على المعادن لمنع تلوث الجسيمات والأيونات المعدنية.
نظافة عالية، تلوث معدني ضئيل
غير فعالة كيميائياً، خاصة بالنسبة لغازات الحفر القائمة على الهالوجين
كثافة عالية، مسامية ضئيلة
الحبوب الدقيقة، الحد الأدنى للحبوب
قابلية ميكانيكية جيدة
خصائص كهربائية أو حرارية محددة إذا لزم الأمر
مع وجود مئات أو آلاف من الثقوب الدقيقة الدقيقة ، توزيع هذه الألواح غازات العملية بشكل موحد ، مما يضمن ترسب / حفرة ثابتة.
المتطلبات المتعلقة بتكافؤ قطر الثقب والجدران الداخلية الخالية من الحفر مرتفعة للغاية. حتى الانحرافات الطفيفة يمكن أن تسبب اختلاف سمك الفيلم وفقدان الإنتاج.
مصممة لتحقيق التوازن بين توحيد البلازما ومطابقة موصلة رقاقة السيليكون. بالمقارنة مع السيليكون الموصل التقليدي (الذي يتفاعل مع بلازما الفلور لتشكيل SiF4 المتطاير) ،يقدم SiC موصلات مماثلة ومقاومة بلازما متفوقةمما يسمح بعمر أطول.
- نعم
في أنظمة CVD و PVD ، تشمل الأجزاء السيراميكية الرئيسية أدوات الكهروستاتيكية ، وألواح توزيع الغازات ، والسخانات ، ومحاطات الغرف.
المكونات السيرامية الرئيسية:عجلة الكهرباء الستاتيكية، سخان السيراميك
المواد الرئيسية: أجهزة التدفئة:نتريد الألومنيوم (AlN) ، الألومينا (Al2O3)
مكون حاسم يقع داخل غرفة العملية، على اتصال مباشرة مع الوافر. وهو يدعم الوافر ويضمن درجات حرارة عملية متساوية ومستقرة عبر سطحه.
- نعم
تستخدم معدات CMP لوحات التلميع السيراميكية ، وأذرع التعامل ، ومنصات المواءمة ، وأدوات الفراغ لتسطيح السطح بدقة عالية.
المكونات السيرامية الرئيسية:
- شفرات القطع:مواد مركبة من السيراميك الماسية، سرعة القطع ~ 300 مم/ثانية، شق الحافة < 1 ميكرومتر
- الرؤوس اللاصقة بالضغط الحراري:السيراميك AlN مع موصلة حرارية 220 W/m·K؛ توحيد درجة الحرارة ±2°C
- أسطوانات LTCC:دقة عرض الخط تصل إلى 10 ميكرومتر؛ يدعم 5G انتقال موجة مم
- أدوات السيراميك الشعرية:تستخدم في ربط الأسلاك، عادة ما تكون مصنوعة من Al2O3 أو الألومينا المقاومة بالزيركونيا
المكونات السيرامية الرئيسية:
- أجزاء متداخلة:أكسيد البيريليوم (BeO) ، نتريد الألومنيوم (AlN)
- معدات الاختبار عالية التردد:السيراميك AlN لتحقيق أداء ثابت للأشعة الراديوية
اتصل شخص: Mr. Wang
الهاتف :: +8615801942596
