معدات التلميع أحادي الجانب عالية الدقة هي أداة تشغيل دقيقة متخصصة مصممة للمواد الصلبة والهشة (مثل رقائق السيليكون لأشباه الموصلات، وكربيد السيليكون، وزرنيخيد الغاليوم، والياقوت، والكوارتز، والسيراميك). من خلال الطحن الدوراني أحادي الاتجاه والتآزر الكيميائي، تحقق تشطيبًا فائقًا للأسطح بمسطحة ≤0.01 مم وخشونة سطح Ra ≤0.4 نانومتر. تستخدم هذه المعدات على نطاق واسع في ترقيق رقائق أشباه الموصلات، وتلميع العدسات البصرية، ومعالجة مكونات الختم الخزفية، وتدعم المعالجة الفردية والدفعية، مما يعزز الكفاءة والاتساق بشكل كبير.